產(chǎn)品介紹

大流量氣體過濾器,，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,，過濾精度高達(dá)0.003μm,，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,，是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案

產(chǎn)品特點(diǎn)

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試,、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫,、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?；烊?，幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)