超快激光微納加工中心不僅擁有納米級3D加工能力,，還配備了雙波長飛秒激光輸出,，可加工更廣泛的材料,。可對玻璃,、光纖,、晶體內(nèi)部和表面進(jìn)行改性或刻蝕，也可對金屬,、合金,、陶瓷等硬質(zhì)材料進(jìn)行微米級精度的處理，包括打孔,、表面結(jié)構(gòu)處理,、選擇性激光消融、改性等多種功能,。
MJ-Works同樣擁有高精度,、超高速度的特點，并且可進(jìn)行大幅面加工,、全自動操控,、長時穩(wěn)定性、簡單直觀的軟件操作以及適配多種材料的特點,，適用于微納光學(xué),、生物醫(yī)學(xué),、半導(dǎo)體、光通信等行業(yè)的微納加工領(lǐng)域,。
主要特點：
雙波長飛秒激光系統(tǒng),，適配多種加工材料，實現(xiàn)增減材加工,。
高能飛秒激光脈沖,，材料表面減材或內(nèi)部改性+復(fù)雜的3D結(jié)構(gòu)。
光學(xué)自穩(wěn)定,，加工面自動平整,，自動聚焦和自動跟蹤功能。
光斑調(diào)制功能,，預(yù)留多種光斑模式,。
線寬≤100nm，表面粗糙度≤10nm,。
可配備自研的超高速加工模塊,。
大幅面、大體積加工,。
激光能量穩(wěn)定系統(tǒng),。
高精度恒溫控制系統(tǒng)。
多焦點模式,，提高加工效率,。
納米級高精度位置識別與對準(zhǔn)。
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