LCD 行業(yè)中的清洗方式

LCD的COG組裝過程，是在 ITO 玻璃上貼裝 IC 裸片,，利用金球的變形與壓縮來使 ITO 玻璃上的引腳與IC芯片上的引腳導(dǎo)通。由于精細(xì)線路不斷發(fā)展的技術(shù),，目前已經(jīng)發(fā)展到生產(chǎn)Pitch為 20μm、 線條為 10μm 的產(chǎn)品,。這些精細(xì)線路電子產(chǎn)品的生產(chǎn)與組裝，對(duì) ITO 玻璃的表面清潔度要求非常高,，要求產(chǎn)品的可焊接性能好,、焊接牢固,、不能有任何有機(jī)與無機(jī)的物質(zhì)殘留在ITO玻璃上來阻止ITO電極子與IC BUMP的導(dǎo)通性,，因此， 對(duì) ITO 玻璃的清潔顯得非常重要。在目前的ITO玻璃清潔工藝中,，大家都在嘗試?yán)酶鞣N清洗劑( 酒精清洗、棉簽+檸檬水清洗,、超聲波清洗)進(jìn)行清洗，但由于清洗劑的引入,，會(huì)導(dǎo)致因清洗劑的引入而帶來其他的相關(guān)問題，因此,，探索新的清洗方法成為各廠家的努力方向。

通過逐步的試驗(yàn),，利用等離子清洗的原理來對(duì)ITO玻璃進(jìn)行表面清潔,，是比較有效的清潔方法,。在對(duì)液晶玻璃進(jìn)行的等離子清洗中，使用的活化氣體是氧的等離子體,，它能除去油性污垢和有機(jī)污染物粒子，因?yàn)檠醯入x子體可將有機(jī)物氧化并形成氣體排出,。通過洗凈工藝后的電極子與顯示器，增強(qiáng)了偏光板粘貼的成品率,，并且電極與導(dǎo)電膜間的粘附性也大大改善,，從而改善了產(chǎn)品的質(zhì)量及其穩(wěn)定性,。

等離子清洗技術(shù)實(shí)際是高精度的干法清洗設(shè)備，它的清洗范圍為納米級(jí)別的有機(jī)和無機(jī)污染物,。LCD行業(yè)中的ITO玻璃在運(yùn)送和濕法清洗后,，表面殘留的有機(jī)溶液和無機(jī)顆粒,，成為影響 IC貼合到ITO玻璃上的主要因素,。在等離子清洗應(yīng)用中,，主要是利用低壓氣體輝光等離子體,。一些非聚合性無機(jī)氣體( Ar,、N2,、H2,、O2 等)在高頻低壓下被激發(fā)，產(chǎn)生含有離子,、 激發(fā)態(tài)分子,，自由基等多種活性粒子,。一般在等離子清洗中,，可把活化氣體分為兩類,， 一類為惰性氣體的等離子體(如Ar,、 N2等) ; 另一類為反應(yīng)性氣體的等離子體(如O2,、H2 等),。這些活性粒子能與表面材料發(fā)生反應(yīng),，其反應(yīng)過程如下: 電離——?dú)怏w分子——激發(fā)——激發(fā)態(tài)分子——清洗——活化表面。

表面反應(yīng)以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗,，典型的為氬等離子轟擊物體表面,， 使其產(chǎn)生一定的粗糙度,。等離子清洗處理材料表面時(shí)， 處理時(shí)的工藝氣體,、氣體流量,、 功率和處理時(shí)間直接影響材料表面處理質(zhì)量， 合理選擇這些參數(shù)將有效提高處理的效果,。同時(shí)處理時(shí)的溫度、 氣體分配,、 真空度、 電極設(shè)置,、 靜電保護(hù)等因素也影響處理質(zhì)量。因此,，對(duì)不同的材料要制定選用不同的工藝參數(shù)。

LCD 工藝水平飛速發(fā)展,，LCD 制造技術(shù)極限不斷受到挑戰(zhàn)并發(fā)展,，已成為代表*制造技術(shù)的前沿技術(shù)。在清洗行業(yè)對(duì)清洗的要求也越來越高,，常規(guī)清洗已經(jīng)不能滿足要求,，在半導(dǎo)體行業(yè)中尤其如此，等離子體清洗比較理想地解決了這些精密清洗的要求,，又符合當(dāng)今環(huán)保的形勢(shì),。