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可靠性測試設(shè)備在芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

時間:2022/11/7閱讀:810
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從近幾年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的情況來看,,在國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)在政策和資金大力支持下,國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商得以在刻蝕,、薄膜沉積,、測試等多個領(lǐng)域不斷取得突破——根據(jù)德邦證券的調(diào)研報告顯示,中微公司和北方華創(chuàng)分別在CCP和ICP刻蝕設(shè)備領(lǐng)域取得突破,,部分產(chǎn)品已進入先進制程生產(chǎn)線驗證,;北方華創(chuàng)在PVD領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國產(chǎn)高*薄膜制備設(shè)備零的突破,設(shè)備覆蓋了90-14nm多個制程,,沈陽拓荊CVD設(shè)備成功進入長江存儲生產(chǎn)線,。華峰測控模擬測試機國內(nèi)*占率已達(dá)60%,后續(xù)SOC項目推進可能為公司帶來新的增長空間,。

 

但除了這些廣為被業(yè)界所知的半導(dǎo)體設(shè)備以外,,可靠性測試設(shè)備也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的重要環(huán)節(jié)。據(jù)了解,,可靠性測試設(shè)備能夠模擬環(huán)境并通過檢測確保產(chǎn)品達(dá)到在研發(fā),、設(shè)計、制造中預(yù)期的質(zhì)量目標(biāo),。而這種檢測方式一方面可以保障企業(yè)產(chǎn)品品質(zhì),,同時也能夠提升企業(yè)產(chǎn)品在市場中的競爭力。

 

其中,,半導(dǎo)體溫度測試系統(tǒng)也是環(huán)境可靠性測試中的重要一環(huán),,相關(guān)媒體報道稱,半導(dǎo)體溫度測試系統(tǒng)對于國內(nèi)提供相關(guān)設(shè)備的企業(yè)來說,,有較大的業(yè)務(wù)增長點,,待建廠完畢后,相應(yīng)的IC設(shè)計,、晶圓制造及加工,、封測等相關(guān)企業(yè)開始運轉(zhuǎn),半導(dǎo)體溫度測試系統(tǒng)也將迎來新的需求增長,。

 

具體來看,,從電子工程專輯此前的報道中顯示,在晶圓測試中所涉及的溫度測試,,目前主要有三種應(yīng)用:


1.根據(jù)Arrhenius的方程原理,,半導(dǎo)體行業(yè)認(rèn)識到溫度可以用來估計設(shè)備的壽命,因此,,用溫度測試來確定高溫工作壽命(HTOL:High-temperature Operating Life),。

 

2.有特定用途的設(shè)備,如應(yīng)用于空間,、戶外和汽車,,需要承受更惡劣的環(huán)境和廣泛的溫度范圍。例如,,所有的汽車芯片通常需要在-40℃到+150℃的范圍內(nèi)進行測試,。

 

3.高壓芯片(例如高性能微處理器)的電子測試和大規(guī)模并行測試(DRAM和NAND芯片)是業(yè)界*的挑戰(zhàn),,需要迅速有效的冷卻以避免燒壞芯片。

 

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