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激光共聚焦顯微鏡有奧林巴斯光學(xué)掃描儀,。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合,，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描,。
激光共聚焦顯微鏡高度測量原理

在測量高度時(shí)，顯微鏡通過自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像,。根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置（Z）和檢測光強(qiáng)度（I）可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線（I-Z曲線）,，并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng),，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息,。與此類似，通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像（擴(kuò)展圖像）