干涉儀類別：

1D激光主要可以測量定位誤差

3D激光可以測量定位誤差,、直線度誤差（雙向）

5D/6D激光可以測量定位誤差,、直線度誤差（雙向）、偏擺角,、俯仰角和滾動角

XD激光測量系統(tǒng)是一臺由外部計算機及其應用程序控制的激光測量儀器。XD激光測量系統(tǒng)可以同時對六個自由度上的參數(shù)進行測量,，包括：線位移、水平直線度,、垂直直線度、（水平面內(nèi)）偏擺角,、（垂直面內(nèi)）俯仰角以及繞測量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角。

概述

    5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品,，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差,、2個直線度誤差、3個角度誤差,。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,，實際應用結(jié)果表明，節(jié)省時間可達80%,。

    該儀器體積小,，重量輕,，可以直接安裝到機床導軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器,、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,，經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子記數(shù),，記錄準確長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束,，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）,。

    為了保證激光光束的穩(wěn)定性,，測量儀在結(jié)構(gòu)的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮,，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到很小,，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性,。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器,，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響,，測量儀還配有專門設計的多重數(shù)字濾波器,，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到非常小,。

主要特點

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）,、偏擺角、俯仰角和滾動角 
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無線遙控傳感器很長的控制距離可到25米 
4. 可測量速度,、加速度、振動等參數(shù),，并評估機床動態(tài)特性 
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,，設計緊湊、體積小,，測量機床時不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間

技術(shù)參數(shù)（XD Laser 為無線產(chǎn)品,，可選三種不同的準確性等級）