以白光干涉技術(shù)為原理的3d光學(xué)輪廓儀,，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。

3d光學(xué)輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量,。它所具有技術(shù)競爭力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合,。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究,，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。

3d表面輪廓儀結(jié)構(gòu)組成：

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析,，晶粒分析等,；

2、二維圖像分析：距離,，半徑,，斜坡，格子圖,，輪廓線等,；

3、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面；

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量,；

5、劃痕形貌,，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量；

6,、微電子表面分析和MEMS表征,。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1、用于太陽能電池測量,；

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測量；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量,；

4、用于機(jī)械部件的計量,；

5,、用于塑料,，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。

3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,，以及粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,，可以對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。