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掃描顯微鏡是一種利用傳播媒介的無損檢測設備,。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件,、材料、晶圓等樣品內部的分層,、空洞,、裂縫等缺陷。
一,、超聲波掃描顯微鏡介紹
通過發(fā)射短波傳遞到樣品內部,，在經過兩種不同材質之間界面時，由于不同材質的阻抗不同,，吸收和反射程度的不同,，進而采集的反射能量信息或者相位信息的變化來檢查樣品內部出現(xiàn)的分層、裂縫或者空洞等缺陷,。先進的顯微成像的技術是諸多行業(yè)領域在各類樣品中檢查和尋找瑕疵的重要手段,。在檢查材料又要保持完整的樣品時，這項非破壞性檢測技術的優(yōu)勢尤為突出,。
利用脈沖回波的性質，激勵壓電換能器發(fā)射出多束通過耦合液介質傳遞到被測樣品,，在經過不同介質時會發(fā)生折射,、反射等現(xiàn)象，通過阻抗不同的材料時會發(fā)生波形相位,、能量上的變化等現(xiàn)象,，經過一系列數(shù)據采集計算形成灰度值圖片,，可用來分析樣品內部狀況,。
作為無損檢測分析中的一種，它可以實現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結構完整性的前提下對物料進行檢測,。被廣泛的應用在物料檢測（IQC）,、失效分析（FA）、破壞性物理分析（DPA）,、可靠性分析,、元器件二次篩選、質量控制(QC),、質量保證及可靠性(QA/REL),、研發(fā)(R&D)等領域。
三,、產品特點
非破壞性,、對樣品無損壞。分辨率高,，可確定缺陷在樣品內部的精確位置,。
四,、工作方式
按接收信息模式可分為反射模式與透射模式。按掃描方式分可分為 C掃,，B掃,，X掃，Z掃,，分焦距掃描,，分波長掃描等多種方式。
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