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水浸超聲掃描顯微鏡自研發(fā)成功以來在工業(yè)和軍事應用中使用的gao端半導體電子產(chǎn)品的制造商長期一直依賴精確的測試方法來識別缺陷的位置,,例如微電子設備中的空隙,、裂縫和不同層的分層,,也稱為一個微芯片。制造商還采用掃描聲學顯微鏡 (SAM),,這是一種非侵入性和非破壞性的超聲波檢測方法,,已成為在各種芯片生產(chǎn)步驟和封裝后的最終質(zhì)量檢測中檢測和分析缺陷的行業(yè)標準。
關于超聲掃描顯微鏡的掃描模式的不同常用的掃描模式主要有這些:按照檢測結果分為A掃描,、B掃描,、C掃描,三種不同的檢測模式,,各有不同的優(yōu)勢,,選擇合適的檢測模式,可以達到事半功倍的效果,。
A:一點掃描:用波形圖來反應缺陷的大致位置,,優(yōu)點:最客觀的缺陷判基準。缺點:缺陷展示不直觀,,無法有效計算缺陷面積厚度等參數(shù),。需要有波形判斷經(jīng)驗的專業(yè)人員分析判斷,,人為誤判的影響較大。常見于低頻無損探傷領域,,便攜式無損探傷儀器常用方法,,專業(yè)無損探傷人員需要考取無損探傷證書。
A掃描是波形顯示,,在示波器屏幕上橫坐標代表時間,,縱坐標代表反射波的強度,根據(jù)反射波的強度大致估計缺陷的嚴重程度,,根據(jù)反射波在橫軸的位置人工計算出缺陷的位置,。操作人員需要根據(jù)示波器上的波形,將缺陷的大致范圍標記在工件上,。
B掃描顯示的是縱向截面掃描圖像,,B掃描的結果相對比較直觀,采用數(shù)字像技術,,B掃描是將反射波信號的相對位置顯示在一張圖上,。在B掃描的圖像上,我們可以看到樣品不同位置的反射波信號,。和金相圖像基本對應。 優(yōu)點是利于計算物件的縱深,,及厚度,。
C掃描顯示的是橫向截面的情況。首先C掃描采用圖像處理技術,,不同于A,,B掃描模式時候的數(shù)字處理計算,可以方便直觀的找出缺陷情況,,看出缺陷趨勢,,甚至計算出缺陷的面積,更全面精準的反映出工件質(zhì)量情況,,
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