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光譜儀器的工作原理

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當(dāng)一束復(fù)合光線(xiàn)進(jìn)入光譜儀的入射狹縫,,首先由光學(xué)準(zhǔn)直鏡準(zhǔn)直成平行光,再通過(guò)衍射光柵色散為分開(kāi)的波長(zhǎng)(顏色)。利用不同波長(zhǎng)離開(kāi)光柵的角度不同,,由聚焦反射鏡再成像于出射狹縫,。通過(guò)電腦控制可精確地改變出射波長(zhǎng)。

光柵基礎(chǔ)
  光柵作為重要的分光器件,,他的選擇與性能直接影響整個(gè)系統(tǒng)性能,。為更好協(xié)助用戶(hù)選擇,在此做一簡(jiǎn)要介紹,。
  光柵分為刻劃光柵,、復(fù)制光柵、全息光柵等,??虅澒鈻攀怯勉@石刻刀在涂有金屬的表面上機(jī)械刻劃而成;復(fù)制光柵是用母光柵復(fù)制而成,。典型刻劃光柵和復(fù)制光柵的刻槽是三角形,。全息光柵是由激光干涉條紋光刻而成。全息通常包括正弦刻槽,??虅澒鈻啪哂醒苌湫矢叩奶攸c(diǎn),全息光柵光譜范圍廣,,雜散光低,,且可作到高光譜分辨率。

光柵方程
  反射式衍射光柵是在襯底上周期地刻劃很多微細(xì)的刻槽,,一系列平行刻槽的間隔與波長(zhǎng)相當(dāng),,光柵表面涂上一層高反射率金屬膜。光柵溝槽表面反射的輻射相互作用產(chǎn)生衍射和干涉,。對(duì)某波長(zhǎng),,在大多數(shù)方向消失,只在一定的有限方向出現(xiàn),,這些方向確定了衍射級(jí)次,。如圖1所示,光柵刻槽垂直輻射入射平面,,輻射與光柵法線(xiàn)入射角為α,,衍射角為β,衍射級(jí)次為m,,d為刻槽間距,,在下述條件下得到干涉的極大值:
mλ=d
sinα+sinβ
  定義φ為入射光線(xiàn)與衍射光線(xiàn)夾角的一半,即φ=α-β/2,;θ為相對(duì)與零級(jí)光譜位置的光柵角,,即θ=α+β/2,得到更方便的光柵方程:
  mλ=2dcosφsinθ
  從該光柵方程可看出:
  對(duì)一給定方向β,,可以有幾個(gè)波長(zhǎng)與級(jí)次m相對(duì)應(yīng)λ滿(mǎn)足光柵方程。比如600nm的一級(jí)輻射和300nm的二級(jí)輻射,、200nm的三級(jí)輻射有相同的衍射角,。
  衍射級(jí)次m可正可負(fù)。
  對(duì)相同級(jí)次的多波長(zhǎng)在不同的β分布開(kāi),。
  含多波長(zhǎng)的輻射方向固定,,旋轉(zhuǎn)光柵,改變α,,則在α+β不變的方向得到不同的波長(zhǎng),。
如何選擇光柵
選擇光柵主要考慮如下因素:
刻槽密度G=1/dd是刻槽間隔,,單位為mm,。
閃耀波長(zhǎng)
  閃耀波長(zhǎng)為光柵最大衍射效率點(diǎn),因此選擇光柵時(shí)應(yīng)盡量選擇閃耀波長(zhǎng)在實(shí)際需要波長(zhǎng)附近,。如實(shí)際應(yīng)用在可見(jiàn)光范圍,,可選擇閃耀波長(zhǎng)為500nm
光柵刻線(xiàn)
  光柵刻線(xiàn)多少直接關(guān)系到光譜分辨率,,刻線(xiàn)多光譜分辨率高,,刻線(xiàn)少光譜覆蓋范圍寬,兩者要根據(jù)實(shí)驗(yàn)靈活選擇,。
光柵效率
  光柵效率是衍射到給定級(jí)次的單色光與入射單色光的比值,。光柵效率愈高,信號(hào)損失愈小,。為提高此效率,,除提高光柵制作工藝外,還采用特殊鍍膜,,提高反射效率,。
光柵光譜儀重要參數(shù):
分辨率(resolution
  光柵光譜儀的分辨率R是分開(kāi)兩條臨近譜線(xiàn)能力的度量,根據(jù)瑞利判據(jù)為:
  R==λ/Δλ
  光柵光譜儀有實(shí)際意義的定義是測(cè)量單個(gè)譜線(xiàn)的半高寬(FWHM),。實(shí)際上,,分辨率依賴(lài)于光柵的分辨本領(lǐng)、系統(tǒng)的有效焦長(zhǎng),、設(shè)定的狹縫寬度,、系統(tǒng)的光學(xué)像差以及其它參數(shù)等。
  R∝M.F/W
M
--光柵線(xiàn)數(shù)  F--譜儀焦距  W--狹縫寬度
色散
  光柵光譜儀的色散決定其分開(kāi)波長(zhǎng)的能力,。光譜儀的倒線(xiàn)色散可計(jì)算得到:沿單色儀的焦平面改變距離χ引起波長(zhǎng)λ的變化,,即:
Δλ/Δχ=dcosβ/nF
  這里dβ,、F分別是光柵刻槽的間距,、衍射角和系統(tǒng)的有效焦距,n為衍射級(jí)次,。由方程可見(jiàn),,倒線(xiàn)色散不是常數(shù),它隨波長(zhǎng)變化,。在所用波長(zhǎng)范圍內(nèi),,改變化可能超過(guò)2倍。根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),,在本樣本中,,用1200l/mm光柵色散的中間值(典型的為435.8nm)時(shí)的倒線(xiàn)色散。
帶寬
  帶寬是忽略光學(xué)像差,、衍射,、掃描方法、探測(cè)器像素寬度,、狹縫高度和照明均勻性等,,在給定波長(zhǎng),從光譜儀輸出的波長(zhǎng)寬度,。它是倒線(xiàn)色散和狹縫寬度的乘積,。例如,單色儀狹縫為0.2mm,,光柵倒線(xiàn)色散為2.7nm/mm,,則帶寬為2.7*0.2=0.54nm
波長(zhǎng)精度,、重復(fù)性和準(zhǔn)確度
  波長(zhǎng)精度是光譜儀確定波長(zhǎng)的刻度等級(jí),,單位為nm。通常,,波長(zhǎng)精度隨波長(zhǎng)變化,,本樣本中為最壞的情況。
  波長(zhǎng)重復(fù)性是光譜儀設(shè)定一個(gè)波長(zhǎng)后,,改變?cè)O(shè)定,,再返回原波長(zhǎng)的能力。這體現(xiàn)了波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)機(jī)械和整個(gè)儀器的穩(wěn)定性,。卓立漢光的光譜儀的波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)和機(jī)械穩(wěn)定性好
,,其重復(fù)性超過(guò)了波長(zhǎng)精度


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