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應用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子

提供您在CIS/ALS/光傳感器晶圓級測試中所需的一切,。

SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測試儀,，它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器,。高度均勻光源可以提供從400nm到1700nm的連續(xù)白光光譜,，以及在許多不同波長下具有一定FWHM的單色光輸出,。探測器可以處理大,。200mm晶圓尺寸和尺寸大于1cmx1cm的單芯片。SG-O集成了超低噪音熱卡盤,，可提供 -60°C至180°C的溫度范圍,，具有快速的升溫速度和穩(wěn)定性。SG-O提供您在CIS/ALS/光傳感器設(shè)計驗證或工藝良率檢查中所需的一切,。

SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀特點：

●高度均勻的光源

從 UV 到 SWIR 的寬光譜范圍

超過50mmx50mm區(qū)域的高度均勻性超過98%

超穩(wěn)定光強度,，可維持不穩(wěn)定性<0.2%長達10小時以上

高光強動態(tài)范圍，高達140dB

●可編程自動探測器

200mm~10mm晶圓或芯片處理能力

用于準確可靠的DC / CV,、RF測量

穩(wěn)定的功能顯微鏡系統(tǒng)

整合硬件控制面板

自動晶圓裝載機

智能晶圓映射

●寬溫低噪音卡盤

模塊化卡盤

-80°C至180°C的寬溫度范圍

*CDA熱控制技術(shù),，高斜坡率和高T穩(wěn)定性

用于CIS/ALS/光傳感器晶圓測試的超低噪聲

應用：

CIS/ALS/光傳感器晶圓測試

CIS/ALS/光傳感器晶圓映射和良率檢查

ToF傳感器測試

激光雷達傳感器測試

InGaAs PD測試

SPAD傳感器測試

光傳感器模擬參數(shù)測試：

量子效率

光譜響應

系統(tǒng)增益

靈敏度

動態(tài)范圍

暗電流/噪聲

信噪比

飽和容量

線性誤差（LE）

DCNU（暗電流非均勻性）

PRNU（光響應非均勻性）

系統(tǒng)設(shè)計：

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor測試儀（晶圓級）系統(tǒng)圖。高度均勻的光源由PC-1控制,。光輸出由光纖引導到光學均化器以產(chǎn)生均勻的光束,。顯微鏡和均質(zhì)器由PC-1的自動平移臺控制，以切換位置和功能,。Prober系統(tǒng)為MPI TS2000,，由PC-2 控制?？ūP臺的位置也由PC-2控制,。熱卡盤溫度可控制在-55℃至180℃，涵蓋了大部分 IC測試溫度范圍,。光強度由一個Si 光電探測器和一個InGaAs光電探測器通過皮安電流表檢測和校準,。

規(guī)格：

高度均勻的光源

光譜范圍：400nm至1700nm

色溫：3000K至5200K

均勻照明面積：42mmx25mm，工作距離>200mm

照度均勻度：優(yōu)于98%

短期光不穩(wěn)定性：≤1%超過1小時

長期光不穩(wěn)定性：≤1%超過10小時

DUT與后一個光學組件之間的工作距離：≥200mm工作距離

單色光生成：

10nm FWHM 中心波長：420nm,450nm,490nm,510nm,550nm,570nm,620nm,670nm,680nm,710nm,780nm,870nm

25nm FWHM 中心波長：1010nm,1250nm,1450nm

45±5nm FWHM 中心波長：815nm

50nm FWHM 的中心波長：1600nm

60±5nm FWHM 中心波長：650nm

70±5nm FWHM 的中心波長：485nm,555nm

100±5nm FWHM 的中心波長：1600nm

帶外透光率≤0.01%

帶通區(qū)峰值傳輸≥80%

中心波長容差：(a)≤±2nm,；(b)~(g)≤±5nm

FWHM容差：(a)≤±2nm,；(b)~(g)≤±5nm

可變衰減器：PC控制的3-decade分辨率，至少1000步

半自動晶圓探針

晶圓尺寸能力：200mm,、150mm,、100mm晶圓和尺寸大于1cmx1cm的單芯片

晶圓處理：單晶圓,，手動進料型

半自動化：一步手動對準教和自動模步進

XYZ 平臺

卡盤 XY 載物臺行程：210mmx300mm

卡盤 XY 平臺分辨率：優(yōu)于0.5um

夾頭 XY 平臺精度：優(yōu)于2.0um

卡盤 XY 平臺速度：慢：10微米/秒，快：50毫米/秒

Chuck Z 載物臺行程：50mm

Chuck Z 平臺分辨率：0.2um

卡盤 Z 平臺精度：±2.0um

Theta平臺

Theta載物臺行程：±5度運動范圍

Theta分辨率：優(yōu)于0.01度

Theta精度：0.1度

卡盤

卡盤平整度≤10um

卡盤熱操作：-60°C至200°C

25°C時的卡盤泄漏：25°C時在10V偏壓下每個電壓≤20fA

卡盤剩余電容≤95fF

探針卡

探針卡尺寸：4.5英寸至8英寸長

探針卡座與壓板之間的間隙：≥7.5mm

微型腔室

EMI屏蔽：在 1kHz 至 1MHz 范圍內(nèi)≥30dB

系統(tǒng)交流噪聲：≤ 5mVp -p

微型定位器

顯微鏡

隔振臺

光譜輻照度計

光譜范圍：400nm至1600nm

波長分辨率：400nm到1000nm 增加步長<1nm,；1000nm到1600nm 增加步長<3.5nm

校準：NIST可追溯校準證書

主要表現(xiàn)

SG-O系統(tǒng)的操作軟件,。對于高度均勻光源控制軟件，SG-O提供光源系統(tǒng)控制和光強測量,。提供了各個光學組件的 Labview功能調(diào)色板,、驅(qū)動程序/DLL文件。該軟件控制所述平移臺以促進照射大是在零件的設(shè)備,。集成鏈接的整合包括發(fā)送/接收命令,，例如芯片步進、芯片對齊/探測等,。