安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,，溫度25G15C 濕度55%Rh=10%Rh下使用,。

1、 水：不需裳

2,、 電：AC220V 50Hz,必須有良好接地

3,、 '：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帀有寶塔接頭,，可自菱改制成為雙卡套接頭）

4,、 工作臺(tái)：尺寸1200mmx600mmx700mm,承重300kg以上

5、 通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1,、 雙層殼體,，爐膛釆用高純氧化鋁纖維，設(shè)有風(fēng)冷系統(tǒng),，殼體表面溫度＜55°Co

2,、 內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口氧化鋁涂層,，可以提高加熱效率，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命,。

3,、 PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序,。

4,、 已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1,、 電源：AC 220V 50Hz 60Hz 5KW

2,、 氧化鋁管：外徑060mm，內(nèi)徑054mm,，長(zhǎng)1000mm

3,、 加熱元件:1750*C級(jí)硅鋁棲

4、 加熱區(qū)域：457mm

5,、 工作溫度：高1600‘C,，連續(xù)800-1500‘C

6、 升降溫速率:10*C/min （＜1200*0,5°C mm （＞1200°C）

7,、 控溫精度：

8,、 真空度：lO-’torr （機(jī)械泵），lO-'torr （分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：590mm X490mmX 760mm ,；重熨：150kg

標(biāo)準(zhǔn)酉I件

1 氧化鋁管

1根

2 氧化鋁管堵

2個(gè)

3 不銹鋼法蘭

1套

可迭酉I件

1,、 移動(dòng)爐架

2、 波紋管

3,、 數(shù)字真空計(jì)

4,、 KF25轉(zhuǎn)接頭

5、 不銹鋼卡套接頭