產(chǎn)品簡介
隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展,,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質量,而且重視其采集過程的時代,。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像,、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力,。
詳細介紹
日立冷場掃描電鏡SU8600高分辨率電子顯微鏡
在細微結構分析中,,SU8600可以實現(xiàn)低加速電壓觀察,對高分子等易受電子束照射影響的材料進行高分辨觀察,。該系列產(chǎn)品的特點如下:
1.支持自動獲取數(shù)據(jù)
在FE-SEM的觀察和分析中,,需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度,,這是造成數(shù)據(jù)質量與效率差異的因素之一,。此系列產(chǎn)品標配自動調(diào)整功能,可避免人為操作導致的差異,。
此外,,隨著儀器性能的提升,需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加,,手動獲取各種大量數(shù)據(jù)會大大增加用戶的作業(yè)負擔,。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator",用戶可根據(jù)自身需求設定條件,,自動獲取數(shù)據(jù),這對于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實現(xiàn)數(shù)據(jù)驅動開發(fā)起到重要作用,。
2.增加獲取信息的種類與數(shù)量
通過SEM能夠收集到多種信號,,且此系列產(chǎn)品*多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時能夠獲取多種信息,。
此外,,為一次性獲取大量信息,像素擴展到了40,960 x 30,720(選配),,是之前型號的64倍,。利用這一功能,可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評估多處局部的細微結構,。
3.增強信號檢測能力
日立冷場掃描電鏡SU8600高分辨率電子顯微鏡
產(chǎn)品特點:
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能