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更新時(shí)間：2022-02-14 19:55:31瀏覽次數(shù)：330
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),地礦,電子 |
|---|---|---|---|
| 電阻率： | 10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展),； |
RTS-8數(shù)字式四探針測(cè)試儀
是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，專(zhuān)用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái),、四探針探頭,、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì),、裝配,。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快,、精度高,、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試,。
RTS-8數(shù)字式四探針測(cè)試儀技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測(cè)量范圍 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展),；
電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm,；
電阻：10-5～105 Ω；
可測(cè)晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)),；
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)),；
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；
恒流源 電流量程分為1μA,、10μA,、100μA、1mA,、10mA,、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性、超量程自動(dòng)顯示,；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm,；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見(jiàn)探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.01Ω、0.1Ω,、1Ω,、10Ω、100Ω,、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
測(cè)試模式 可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試
軟件功能（選配） 軟件可記錄、保存,、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)最大值、最小值,、平均值、最大百分變化,、平均百分變化,、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試,。
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒（在 0.1mA,、1mA、10mA,、100mA量程檔時(shí)）,。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%,；
無(wú)高頻干擾,；
無(wú)強(qiáng)光直射；
配置 四探針測(cè)試儀主機(jī),、探針臺(tái),、四探針探頭
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