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橫河EJA差壓壓力變送器的工作原理
閱讀：2673 發(fā)布時間：2021-7-3
EJA特點·單晶硅諧振式傳感器·采用微電子機(jī)械加工*（MEMS）·傳感器直接輸出頻率信號,，簡化與數(shù)字系統(tǒng)的接口·高精度,，一般為0.065%·高穩(wěn)定性和高可靠性·連續(xù)10萬次過壓試驗后量≤0.03%/16MPa·連續(xù)工作五年不需調(diào)校零點·BRAIN/HART/FF/PROFIBUS 現(xiàn)場總線四種通訊協(xié)議·完善的自診斷及遠(yuǎn)程設(shè)定通訊功能·可無需三閥組而直接安裝使用·基本品的接液膜片材質(zhì)為：哈氏合金C-276·外部零點/量程調(diào)校
工作原理由單晶硅諧振式傳感器上的兩個H形的振動梁分別將差壓,、壓力信號轉(zhuǎn)換為頻率信號,，送到脈沖計數(shù)器,，再將兩頻率之差直接傳遞到CPU（微處理器）進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,，經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為與輸入信號相對應(yīng)的4~20mADC的輸出信號,，并在模擬信號上疊加一個BRAIN/HART數(shù)字信號進(jìn)行通信。膜盒組件中內(nèi)置的特性修正存貯器存貯傳感器的環(huán)境溫度,、靜壓及輸入/輸出特性修正數(shù)據(jù),，經(jīng)CPU運算，可使變送器獲得優(yōu)良的溫度特性和靜壓特性及輸入/輸出特性,。
結(jié)構(gòu)原理為單晶硅諧振傳感器的核心部分,，即在一單晶硅芯片上采用微電子機(jī)械加工技術(shù)（MEMS），分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀,、大小*一致的H形狀的諧振梁,，且處于微型真空腔中，使其既不與充灌液接觸,，又確保振動時不受空氣阻尼的,。??