| RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,，能自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距,、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響,，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。所有這些,，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。 |
RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析 |
測量范圍 | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展),；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展),；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm,； | 可測晶片厚度 | ≤3mm | 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺),；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),； | 恒流源 | 電流量程分為0.1mA,、1mA、10mA,、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動顯示； | 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm,；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),； | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機(jī)測量最大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% | 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% | 測試標(biāo)準(zhǔn) | 采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn)，通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計(jì)算出電阻值,。儀器主機(jī)也可兼容RTS-4四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn),，兩套軟件可同時(shí)使用。 | 軟件功能 | 軟件可記錄,、保存,、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)最大值,、最小值,、平均值、最大百分變化,、平均百分變化,、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動測量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 | 計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),。 | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%,；
無高頻干擾,；
無強(qiáng)光直射； |
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