RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器,。
儀器由主機,、測試臺,、四探針探頭、真空泵,、屏蔽罩,、計算機等部分組成，測量數(shù)據既可由主機直接顯示,，亦可由計算機控制進行全自動測試,，然后把測試數(shù)據采集到計算機中加以分析，以表格,、圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果,。
| | 可對樣品進行單點、五點,、九點,、多點、直徑掃描,、面掃描等模式的全自動測試,； |
| | 屏蔽測試，*消除光線對樣品測試的影響,，保證測量的準確性,； |
| | 吸附測試，*消除全自動測試過程中樣品移動對測試的影響,； |
| | 可不連接電腦使用進行單點,、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏,； |
RTS-1345型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據并對測試數(shù)據進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據,，把采集到的數(shù)據在計算機中加以分析,，然后把測試數(shù)據以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據進行各種數(shù)據分析,。 |
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| 技 術 指 標 ： |
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測量范圍 | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展),；
電導率：0.0005～10000 s/cm,；
電阻：0.0001～2000Ω.cm； | 可測晶片直徑 | Φ=200mm,； | 恒流源 | 電流量程分為0.1mA,、1mA,、10mA、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調 | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動顯示； | 四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm,；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),； | 四探針探頭應用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) | 0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機測量最大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% | 整機測量標準不確定度 | ≤5% | 測試模式 | 連接電腦使用可對樣品進行單點、五點,、九點,、多點、直徑掃描,、面掃描等模式的全自動測試,，不連接電腦情況下可進行單點、中心五點,、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏,。 | 消除測試過程中影響因素 | 屏蔽和吸附測試，*消除光線和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響,，保證測量的準確性,。 | 標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%,；
無高頻干擾,；
無強光直射； |
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