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參考價(jià) | ¥ 1250000 |
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更新時(shí)間:2022-11-17 17:11:58瀏覽次數(shù):1873評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
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價(jià)格區(qū)間 | 100萬-200萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀
μscan系列機(jī)臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),,特點(diǎn)是快速測量、不接觸,、不破壞,、自動(dòng)化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測量,,粗糙度測量,,寬度,高度,角度,,半徑,、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析,。能直接測量較大面積的樣品,,而不用通過拼接。
μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測量)連用,,如Confocal point sensor(CF),、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA),、Holographic sensor(CP)等,。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。
CF4激光共聚焦傳感器內(nèi),,被照亮的小孔成像在被測量的表面,,激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測物上,只有當(dāng)焦平面和真實(shí)表面的點(diǎn)配對(duì)的時(shí)候,,探測器才記錄到一個(gè)表面信號(hào),。因此物鏡得通過小的垂直步位移動(dòng),使信號(hào)通過位移傳感器的位置移動(dòng)被測出,。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù),,該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。
NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀
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