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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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馬爾 marsurf wi系列 白光干涉儀 穩(wěn)固可靠
MarSurf WI系列是Mahr新研發(fā)光學(xué)3D表面輪廓儀產(chǎn)品,,是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器;根據(jù)配置和應(yīng)用的不同,,分為WI 50 M,WI 50和WI 100三個型號,;WI系列以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),,從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,。
MarSurf WI光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、guofangjun工,、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
應(yīng)用測試項目:對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。
馬爾 marsurf wi系列 白光干涉儀 穩(wěn)固可靠
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