大型非接觸式3D激光掃描儀是一款準確可靠的三維(3D)測量高速共聚焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微鏡圖像,。它在測量和檢測微型三維結(jié)構(gòu)方面擁有理想的解決方案,，例如半導(dǎo)體晶圓,、FPD產(chǎn)品、MEMS器件,、玻璃基板和材料表面,。
大型非接觸式3D激光掃描儀能有效處理不一致性問題，讓用戶不再為成本增加,、生產(chǎn)和零件審批延遲而煩惱,。該系統(tǒng)可用于生產(chǎn)工具、夾具,、配件,、半成品或成品的逆向工程和尺寸檢測,。測量尺寸在0.2M~6m之間，精度可達0.064mm,。采用光學(xué)測量方式,，測量精度不易受環(huán)境變化影響。因此,，它是車間質(zhì)量控制測量解決方案的選擇,。它不需要固定的測量設(shè)置，無論環(huán)境發(fā)生什么變化都不會影響其性能水平,?？梢詭椭僮魅藛T更好地管理生產(chǎn)過程，更快地滿足制造業(yè)對質(zhì)量控制（QC）的更高要求,，同時不影響生產(chǎn)效率,。
大型非接觸式3D激光掃描儀是測量低維材料的有前途的解決方案。它可以測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,、寬度,、角度、面積和體積,，例如：
1,、半導(dǎo)體：IC圖形、凸點高度,、線圈高度,、缺陷檢測、CMP工藝,。
2,、FPD產(chǎn)品：觸摸屏檢測、ITO圖案,、LCD列間距高度,。
3、MEMS器件：結(jié)構(gòu)3D輪廓,、表面粗糙度,、MEMS圖形。
4,、玻璃表面：薄膜太陽能電池,、太陽能電池紋理、激光圖案,。
5,、材料研究：模具表面檢測、粗糙度、裂紋分析,。
