激光三維表面輪廓儀可進(jìn)行材料表面三維輪廓測量、粗糙度測量,、寬度,、高度、角度,、半徑,、粗糙度等二維和三維數(shù)據(jù)分析，無需拼接即可直接測量大面積樣品,。Z1軸（檢測器）配備高精度圓弧光柵尺和新型測量臂的輪廓測量儀,。高精度圓弧光柵尺可直接讀取測量針的圓弧軌跡，實(shí)現(xiàn)高精度,、高分辨率,。與傳統(tǒng)機(jī)型相比，新型測量臂將Z1軸的測量范圍增加了10mm,，減少了工作量,。測量臂安裝部分采用磁力連桿，此觸點(diǎn)即可完成測量臂的裝卸,，提高了使用的便利性,。

 

　　在CF4激光共焦傳感器中，被照亮的小孔在被測表面上成像,。激光束通過物鏡快速上下移動,，聚焦在被測物體上。只有當(dāng)焦平面與真實(shí)表面上的點(diǎn)配對時(shí),，探測器才會記錄表面信號,。因此，物鏡必須移動一個(gè)小的垂直步距,，以便通過位移傳感器的位置移動來測量信號,。根據(jù)特殊的插值技術(shù)，系統(tǒng)的精度可以達(dá)到10nm以下,。激光三維表面輪廓儀可生成高達(dá)150x150mm掃描區(qū)域的詳細(xì)3D和2D圖像,。其重復(fù)性和超低力使其能夠測量任何材料的表面形貌，用于科研和生產(chǎn)環(huán)境,。數(shù)據(jù)分析SPIP軟件是工業(yè)上有用的軟件,。用戶可以對各種應(yīng)用進(jìn)行表面分析。單方面,，它的掃描面積非常大,，用途也比較多。

　　激光三維表面輪廓儀的應(yīng)用：

　　1,、集成電路封裝和表面貼裝：快速獲取封裝翹曲,、引腳共面度,、粗糙度、焊錫量和引腳輪廓,。

　　2、厚膜混合電路：自動測量膜厚,。

　　3,、精密零件：測量精密五金配件、塑料和半導(dǎo)體材料的輪廓和粗糙度,。