產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥,綜合

用于常規(guī)ZEISS掃描電子顯微鏡EVO分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案

蔡司 EVO 系列

模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作,、例行檢測和研究應(yīng)用

EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的,、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起，同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學(xué)，材料科學(xué),，或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域,，憑借廣泛的可選配置,， EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。

顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案
不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項(xiàng)-甚至是大型工業(yè)零部件樣品
使用LaB6燈絲,，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量
對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色
可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求

優(yōu)勢

便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡單易學(xué),，大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本,，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動(dòng)化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員,。

優(yōu)異的圖像質(zhì)量

EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù),。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)，維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量,。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時(shí),，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、對比度和信噪比,。

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

ZEISS掃描電子顯微鏡EVO可以作為半自動(dòng),、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域,，并以多種方式收集數(shù)據(jù),，形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進(jìn)行材料表征或零件檢驗(yàn),，或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián),，進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

專家用戶

優(yōu)選用戶界面: SmartSEM

專家用戶可以獲取以及設(shè)定高級的成像參數(shù)和分析功能,。

SmartSEM: 為有經(jīng)驗(yàn)用戶使用的控制界面

新手用戶

優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch

新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者,。

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運(yùn)行的簡化圖形用戶界面

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

工作流程自動(dòng)化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

Shuttle & Find 將EVO,、光學(xué)顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的,、多模態(tài)工作流程

由于蔡司是各種類型顯微鏡和計(jì)量系統(tǒng)的優(yōu)秀供應(yīng)商，所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合,，使其功能能夠發(fā)揮得更好,。

通過使用Shuttle & Find（蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數(shù)碼）光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個(gè)高效的多模式聯(lián)用的工作流程,。將光學(xué)顯微鏡的光學(xué)對比方法與同樣的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合,，獲得互補(bǔ)的數(shù)據(jù)，從而更清楚地去了解樣品的材料,、質(zhì)量或失效機(jī)理,。

蔡司 SmartEDX

用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案

如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就會(huì)借助能譜儀（EDS）來采集元素化學(xué)成份的空間分布信息,。

針對常規(guī)顯微分析應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化

SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過謹(jǐn)慎細(xì)致的考量,。EVO上的SmartEDX非常適用于常規(guī)顯微分析應(yīng)用，尤其對于數(shù)據(jù)重復(fù)性要求高的客戶而言更是理想的選擇,。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流（典型的EVO工作條件）下具有很高的通量,。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過率, SmartEDX更適合于探測到來自輕元素的低能X射線。

工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面

SmartEDX旨在提高多用戶環(huán)境中的易用性和工作流程重復(fù)性,。與其他蔡司工作流程引導(dǎo)的軟件解決方案（如：SmartSEM Touch,，ZEN core或EVO 的Shuttle＆Find）一樣，SmartEDX軟件易于學(xué)習(xí),，使用直觀,，并有助于確保在SEM上執(zhí)行分析任務(wù)的重復(fù)性，尤其是在多個(gè)操作者使用該系統(tǒng)的環(huán)境中,。

蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持

SmartEDX由蔡司提供支持,，因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝,、預(yù)防性維護(hù)、保修,、診斷和維修,、備件物流以及整個(gè)系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負(fù)責(zé)，為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持,。

EVO 系列

真空室尺寸選擇

	蔡司EVO 10	蔡司EVO 15	蔡司EVO 25
	選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個(gè)非常實(shí)惠的價(jià)格購買掃描電子顯微鏡的切入點(diǎn),。即使這個(gè)EVO真空室很小，它也不同于臺式電鏡,。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備,。	EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念，并擅長于分析應(yīng)用,。選擇 EVO 15 更大的真空室,，并增加對不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式,，你將有一個(gè)多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的解決方案。	EVO25 是工業(yè)的主力解決方案,，它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件,。可選的 80 mm Z 軸行程載物臺可進(jìn)一步擴(kuò)展 EVO 25的功能,，它可以處理重量高達(dá)2公斤的樣品甚至傾斜,。此外，大的真空室將能夠容納多個(gè)分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求,。
樣品高度	100 mm	145 mm	210 mm
樣品直徑	230 mm	250 mm	300 mm
電動(dòng)載物臺行程XYZ	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50 (或 80) mm
高真空模式 (HV) 導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析
可變壓力模式 (VP) 不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析
擴(kuò)展壓力模式 (EP) 含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像

蔡司 EVO 應(yīng)用案例

應(yīng)用實(shí)例

生產(chǎn)與裝配企業(yè)

質(zhì)量分析/質(zhì)量控制
失效分析/金相分析
清潔度檢查
顆粒的形態(tài)和化學(xué)分析,，以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標(biāo)準(zhǔn)
非金屬夾雜物的分析

鋅磷酸鹽電涂層,，高真空模式下使用 SE 探測器成像

汽車座椅墊泡沫，可變真空模式下使用BSE探測器成像,，樣品未噴涂導(dǎo)電層

不銹鋼斷口表面，高真空模式二次電子成像

電子半導(dǎo)體

目視檢查電子元件,、集成電路,、MEMS 器件和太陽能電池
銅絲表面及晶體結(jié)構(gòu)的研究
金屬腐蝕研究
斷面失效分析
Wire bonding線腳檢查
電容表面成像
Wire bond檢查,，在高真空或可變真空模式下用二次電子成像

鎳層腐蝕的二次電子成像

二次電子圖像觀察的在電子產(chǎn)品上生長的晶須
鋼鐵和其它金屬
對金屬樣品和夾雜物的結(jié)構(gòu),、化學(xué)和結(jié)晶學(xué)進(jìn)行成像和分析
相,、顆粒、焊縫和失效分析
鍍鋅低碳鋼的剖面,，使用 EVO 15 上的二次電子探測器進(jìn)行成像

用F80砂礫鋁粉噴砂后的S355鋼表面

采用選擇性激光熔化的方法制備的鈦合金 (Ti-6Al-4V)的表面，能夠看出充分熔化區(qū)域的旁邊有未融化的 Ti-6Al-4V 粒子和其他材料
材料科學(xué)研究
用于研究導(dǎo)電和不導(dǎo)電材料樣品的特征