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產(chǎn)品簡介
薄膜測厚儀,，采用光譜干涉原理進行測量,，具有非接觸、無破壞,、快速等特點,，可在真空環(huán)境使用；可與大行程工件臺配合,，實現(xiàn)大面積膜厚自動測量,。
詳細介紹
產(chǎn)品名稱：膜厚儀
主要技術(shù)指標：
測量范圍（VIS）：15nm—100μm
測量重復性（RMS）：0.086nm
測量精度（與橢偏儀對比）：0.25nm
測量層數(shù)：大于3層
使用光源：鹵素燈；
入射角度：90°
測試材料：透明或半透明薄膜材料,；
光斑尺寸：20μm—3mm（可選）
測量時間：100ms—4ms,；
通信接口：USB2.0
產(chǎn)品特點：
采用光譜干涉原理進行測量，具有非接觸,、無破壞,、快速等特點,；
可在真空環(huán)境使用；可與大行程工件臺配合,，實現(xiàn)大面積膜厚自動測量,。
薄膜測厚儀測試數(shù)據(jù)：
薄膜測厚儀設備組成：
測試主機、光纖,、校正件,、測量頭、夾持裝置,、設備箱,、手提電腦。