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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
系列微納結(jié)構(gòu)三維形貌檢測儀，基于白光干涉掃描原理，以光波長作為測量基準,，利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結(jié)合具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高精度解析算法,，實現(xiàn)連續(xù)或臺階突變微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌重構(gòu),，由此獲得待測物體三維形貌,、表面紋理,、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結(jié)果。
微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀本產(chǎn)品具有以下特點：
高的測量精度：基于干涉測量原理,，測量重復(fù)性達到1nm,。
大的測量范圍：采用*掃描系統(tǒng)，在保證納米定位精度的同時,，單場掃描范圍可達到10mm,，結(jié)合白光光源重構(gòu)方法，可滿足曲面元件等大范圍物體測量需求,。
全自動測量：標配自動檢焦功能,，結(jié)合自動調(diào)焦裝置,，無需復(fù)雜調(diào)節(jié)過程,，一鍵操作即可完成調(diào)焦,、檢測全過程。選配自動二維平臺,，可自動完成大面積三維數(shù)據(jù)拼接操作
高集成度,、安裝簡便：整機集成為統(tǒng)一整體，僅需外接220v電源,，通過USB3.0 數(shù)據(jù)傳輸,，即可完成數(shù)據(jù)傳輸與測量
具有高的性價比：保證系統(tǒng)性能的同時，降低制造成本
靈活性高：可根據(jù)用戶需求,，對系統(tǒng)進行改進,，滿足工業(yè)不同應(yīng)用場景需求。
微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀技術(shù)參數(shù)：
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