產(chǎn)品簡(jiǎn)介
應(yīng)用
半導(dǎo)體,、平板顯示器和光伏行業(yè)
用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體
詳細(xì)介紹
應(yīng)用
半導(dǎo)體,、平板顯示器和光伏行業(yè)
用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體
德國(guó)WIKA威卡高純傳感器集成顯示和開(kāi)關(guān)接點(diǎn)
產(chǎn)品特性
高精度壓力測(cè)量0.15 % RSS
的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
信號(hào)降噪和屏蔽
真空基準(zhǔn)壓力測(cè)量
主動(dòng)溫度補(bǔ)償
德國(guó)WIKA威卡高純傳感器集成顯示和開(kāi)關(guān)接點(diǎn)
描述
可靠
WUD-2x系列高純傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號(hào)相結(jié)合,能夠?yàn)楫?dāng)前市場(chǎng)需求提供安全,、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量,。
基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測(cè)量技術(shù),加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測(cè)量技術(shù),,確保了高精度壓力測(cè)量以及優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,。
主動(dòng)溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對(duì)傳感器的影響,即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠安全使用,,如氣體膨脹時(shí)的焦耳湯姆遜效應(yīng),。
WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設(shè)計(jì),可承受安裝帶來(lái)的扭曲應(yīng)力,。特殊的薄膜設(shè)計(jì)可消除過(guò)程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險(xiǎn),。
多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool"配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn),因此可從任意位置輕松查看讀數(shù),。
配備2個(gè)可編程開(kāi)關(guān)輸出,,可針對(duì)具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測(cè)及控制。
結(jié)構(gòu)緊湊
WUD-2x為緊湊型UHP傳感器,,夠用于安裝空間狹小的場(chǎng)合,,甚至可輕松對(duì)現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。
WIKA壓力傳感器:A-10, O-10
WIKA壓力變送器:A-1200
WIKA壓力傳感器:IS-3
WIKA壓力傳感器:MH-3,MH-3-HY
WIKA壓力傳感器:HP-2
WIKA壓力傳感器:R-1
WIKA壓力傳感器:MG-1
WIKA壓力傳感器:P-30,P-31
WIKA壓力傳感器:WU-20,WU-25,WU-26
WIKA壓力傳感器:D-20-9,D-21-9
WIKA壓力傳感器:SA-11, S-10, S-11,S-20
WIKA壓力傳感器:E-10,E-11
WIKA壓力傳感器:WUD-20,WUD-25,WUD-26
WIKA壓力傳感器:WUC-10,WUC-15,WUC-16
WIKA壓力傳感器:MHC-1
WIKA壓力傳感器: M-10,M-11
WIKA壓力傳感器:A2G-20, A2G-45 , A2G-50, A2G-52,A2G-55,A2G-60,A2G-70,A2G-85,A2G-90,A2G-200
WIKA壓力傳感器: IWU-20,IWU-25,IWU-26
WIKA壓力傳感器: MH-4