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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
MF5000系列氣體質(zhì)量流量計MF5003 MF5006 MF5008MF5012MF5019
- 采用微機電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高,。
MF5006微型氣體質(zhì)量流量計 - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
MF5008微型氣體質(zhì)量流量計- 傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計有*的改善,。
MF50012微型氣體質(zhì)量流量計- 結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù),，使流量計重復(fù)性好，實現(xiàn)了計量準(zhǔn)確可靠,。
- 技術(shù)進步帶來的結(jié)構(gòu)簡化,，使流量計較之傳統(tǒng)的機械式儀表，壓力損失大幅度減小,，*地降低了能源消耗,。
- 采用LCD顯示"瞬時流量"和"累計流量"，清晰直觀,，讀數(shù)方便,。
- 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計技術(shù)，具有更高抗干擾能力,。
- 流量計帶有RS485通訊模塊,，配合上位計算機網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)集中管理。
- 可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號輸出,。
MF50019微型氣體質(zhì)量流量計機械尺寸：
型號 | 通徑 | 接口 | L | H | W | d | a | b | c |
MF5003 | 3 | 1/8" | 85 | 124 | 35 | Φ3 | 25 | 16 | 50 |
MF5006 | 6 | 1/4" | 95 | 127 | 35 | Φ6 | 25 | 18 | 50 |
MF5008 | 8 | 3/8" | 105 | 134 | 35 | Φ8 | 25 | 22 | 50 |
MF5012 | 12 | 1/2" | 116 | 137 | 40 | Φ12 | 30 | 25 | 50 |
MF5019 | 19 | 3/4" | 152 | 149 | 40 | Φ19 | 30 | 40 | 70 |
技術(shù)參數(shù)：
精確度 ±(1.5+0.2FS)%
測量范圍 0.01~65m/sec
測量管徑 1~19 mm
使用環(huán)境 溫度: -20~65
顯 示 瞬時流量; 累計流量
輸出模式 4~20mA; RS485; 脈沖
校準(zhǔn)條件 20oC; 101.325 kPa.
產(chǎn)品選型：
型號 | 通徑 | 接口 | 大工作壓力 | 測量范圍 | |||
sccm | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
MF5003 | 3 | 1/8" | 1.5 | 15-1500 | 0.15-15 | ||
MF5006 | 6 | 1/4" | 1.5 | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
MF5008 | 8 | 3/8" | 1.5 | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
MF5012 | 12 | 1/2" | 1.5 | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
MF5019 | 19 | 3/4" | 1.5 | 8-800 | 0.28-28 | 0.48-48 | |