澤攸SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位,， 它具有分辨率高，尺寸緊湊,，行程大,，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作,。

澤攸SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),，運(yùn)無需潤滑，百分真空兼容,，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作,。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作,，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位,。

三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái),。平上可安裝電學(xué)探針,、光纖探針、納米鑷子,、金剛石納米力壓頭,、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測量的目的,。

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• 結(jié)構(gòu)緊湊,，高剛性

• 壓電陶瓷位移平臺(tái)具有超長使用壽命

• 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋

• 應(yīng)用：納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測量,、生物細(xì)胞DNA操作等

• 適配SEM：日本電子,、 日立、FEI,、 TESCAN等

應(yīng)用案例

對二維材料的電學(xué)測量                                                對器件的電學(xué)測量

對芯片的電學(xué)測量                                                  對一維材料的電學(xué)測量