Sensofar經(jīng)濟型三維白光干涉共聚焦顯微鏡S lynx
一,、產(chǎn)品概述——緊湊、靈活,、強大：
Sensofar經(jīng)濟型三維白光干涉共聚焦顯微鏡S lynx是款為工業(yè)和研究所設計的全新非接觸式3D表面光學輪廓儀,，用于工業(yè)和科研應用，其設計定位是個緊湊和靈活的系統(tǒng),。它設計簡潔,、用途多樣。光學輪廓儀Slynx能夠測量不同的材質,，結構,，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的*形貌,測量應用,。Sensofar的核心是將3種測量方式融于體,，確保了其*的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng),，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗,。
SENSOFAR公司作為干涉共焦顯微鏡的發(fā)明者，開創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術結合在起,，無需插拔任何硬件就可以在軟件內自動實現(xiàn)共聚焦,、白光干涉和相位差干涉模式的切換。使客戶無需花費高昂的費用就能同時擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀,。
SENSOFAR在1999年創(chuàng)立之初,，就是以三維表面形貌測量為主要研發(fā)方向，通過持續(xù)不斷地研發(fā)和申請利技術,，在全球范圍內創(chuàng)造了數(shù)百種表面形貌測量應用產(chǎn)品,，積累了豐富的技術實力。
二,、主要應用：
半導體晶圓應用,、汽車零部件、消費電子,、能源,、材料表面、微電子,、LED,、微體古生物學、光學鏡片加工,、模具加工,、鐘表制造、腐蝕表面結構,、摩擦學表面結構,。
三、主要特點及功能：
1.共聚焦：
共聚焦技術可以用來測量各類樣品表面的形貌,。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.10um,。利用它可實現(xiàn)臨界尺寸的測量。當用150倍,、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時,，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)。利的共聚焦算法保證Z軸測量重復性在納米范疇,。
2.干涉：
白光垂直掃描干涉(VSI)是種廣泛用于測量表面特性(如形貌或透明薄膜結構)的功能強大的技術,。它適合測量從光滑到適度粗糙的表面，無論物鏡的NA或者放大倍數(shù)變化，均可以提供納米的垂直分辨率,。
3.多焦面疊加：
多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌,。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經(jīng)驗，特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要,。該技術的大亮點是快速(mm/s),、掃描范圍大和支援斜率大(大86°)。此功能對工件和模具測量特別有用,。
4.真彩色共聚焦圖像：
每個像素點都能還原真實的色彩,，在掃描時紅、綠,、藍三色LED交替照明,，并將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法,，用這種技術獲得的圖片色彩保真度和還原性更勝*,。
四、主要優(yōu)勢：
1.實時圖像：
SENSOSCAN為您呈現(xiàn)前瞻領域的共聚焦實時圖像,。我們的圖像質量和速度進一步提升,，在共聚焦照明模式下可達9幀/秒，在明場照明模式下高達30幀/秒,。與此同時,，還有多種實時圖像模式選擇。
2.豐富的參數(shù)設定：
通過調整參數(shù)可優(yōu)化測量步驟,。例如,，優(yōu)化自動對焦設定能夠減少測量時間，采用多級的照明和優(yōu)化掃描范圍可觀察復雜的3D形貌,。優(yōu)化后的測量參數(shù)可存儲為單點(SMR)或多點(MMR)程序測量,。
3.一鍵3D測量：
用戶只需找到測量位置 ， 點擊3D測量按鈕,，SensoSCAN的軟件將自動調整照明亮度,，自動對焦，執(zhí)行較佳的測量模式,，將精準的測量結果于彈指間為您呈現(xiàn),。
4.交互式的3D和2D視圖提供多樣的分析：
演示及渲染選項,。內置測量軟件有測量尺寸,，角度，距離,，直徑,，標注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解決各種分析任務的理想軟件,。您還可選擇以下兩套高階軟件來完成更復雜的分析SensoMAP和SensoPRO,。
5.進階分析：
更豐富的進階分析功能可進行數(shù)據(jù)補償，形狀去除(平面,，球形,，不規(guī)則形狀)，濾波分析,，剪裁和提取輪廓等,。用戶可生成分析模版保證分析的連續(xù)性和一致性。
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