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PicoFemto透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量系統,，在透射電子顯微鏡中制造氣氛及高溫環(huán)境，實現1 Bar & 800 ℃的端觀測條件,。該系統使研究者可以在原子尺度上實時觀測催化反應,、氧化還原反應、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應,，將您的透射電鏡從一臺靜態(tài)成像工具升級為一套功能強大的納米實驗室,。

透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量系統系統組成：

① 原位氣氛環(huán)境樣品桿：由樣品桿主體,、氣流通道、四電極加熱模塊和MEMS反應微腔組成,。樣品被安置于上下兩片MEMS芯片以及配套的O圈組成的密封微腔內,。
② 真空檢漏系統：由進口分子泵組、高真空腔體和高倍顯微鏡組成,。用于實驗前驗證MEMS反應微腔密封情況,，確保在TEM中抽真空后不會有氣體泄漏。
③ MEMS反應微腔：由上下兩片MEMS芯片組成,，用于搭載實驗樣品,。樣品觀測區(qū)域覆蓋有高質量、高透過率的氮化硅薄膜窗口,，窗口上覆蓋有四電極加熱區(qū)域,，樣品搭載在加熱電極上。該MEMS反應微腔與外接氣路通道以及加熱模塊高度耦合,，從而在TEM中實現氣氛環(huán)境與高溫環(huán)境準確可控的原位觀測,。
④ 氣氛環(huán)境控制箱：由三通道混氣模塊、渦輪真空泵,、氣壓控制模塊,、氣流控制模塊及配套附件組成。用于在實驗中準確,、穩(wěn)定地控制MEMS反應微腔中的氣氛環(huán)境,，控制微反應腔中的氣壓及氣體流速。
⑤ 高性能PC及配套控制軟件：該系統中的加熱及氣氛環(huán)境均為軟件控制,，多種工作模式可選,，功能強大，方便易用,。
⑥ 溫控儀：用于控制MEMS反應微腔中的溫度,，四個電極通道，帶溫度反饋,。
⑦ 樣品桿載具,、裝樣附件及其他工具。

性能指標

透射電鏡指標：

● 兼容型號電鏡及極靴,；

● 通氣后透射電子顯微鏡分辨率優(yōu)于0.1 nm,。

加熱指標：

● 溫度范圍：室溫至800 ℃；

● 溫度準確度：優(yōu)于5% ,；

● 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃；

● 四電極加熱,，帶溫度反饋,；

● 軟件控制,。

氣體流動指標：

● 三通道混氣

● 氣壓范圍：0 - 1 Bar；

● 氣壓準確度：30 mBar,；

● 氣體流速： 0.01 - 0.4 ml/min,；

● 可通氣體：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

● 軟件控制,。

MEMS反應微腔指標：

● 高質量氮化硅膜厚度25 nm,；

● 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。

部分國內用戶

部分國外用戶