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SEM納米探針臺產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位,， 它具有分辨率高，尺寸緊湊,，行程大,，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作,。

SEM納米探針臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)無需潤滑,，百分真空兼容,，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級,。步進(jìn)和掃描雙模式工作,，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺組合而成,。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺,。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針,、納米鑷子,、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測量的目的,。

• 結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

• 壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命

• 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋

• 應(yīng)用：納米材料操縱,、納米器件電學(xué)光電等物性測量,、生物細(xì)胞DNA操作等

• 適配SEM：日本電子、 日立,、FEI,、 TESCAN等

應(yīng)用案例：

對二維材料的電學(xué)測量              對器件的電學(xué)測量

對芯片的電學(xué)測量             對一維材料的電學(xué)測量