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產(chǎn)品特性

Sensofar 集成式3D共焦白光干涉儀測量頭S mart的重量約只有S neox的一半(6kg),，加上緊湊的外觀使的它在安裝上有更多選擇,，例如可以直接在生產(chǎn)在線安裝做分析等,。一般來說,，在生產(chǎn)的環(huán)境中通常都會有震動或有害物質(zhì)污染等因素而不適合放置量測儀器，但Sensofar集成式3D共焦白光干涉儀測量頭S mart在開發(fā)時已經(jīng)考慮這些因素,，一體成形的設(shè)計使得它能承受外部污染或震動影響,。

雖然S mart體積較于S neox小，但是同樣保留了白光干涉,、相位差干涉,、共聚焦(Confocal),、多重聚焦四大功能，在光源部分同樣采用LED光,，客戶可以自行彈性選擇要460nm,、530nm、630nm或白光等波段,。

Sensofar融合共聚焦和干涉技術(shù)讓設(shè)備同時擁有了粗糙度量測,、三維形貌及薄膜厚度測量等功能，正是因為這種在技術(shù)融合,，讓S mart光學(xué)輪廓儀的性價比遠高于其他同類型的設(shè)備,。

S mart將顯微圖像、共聚焦圖像,、共聚焦輪廓、相位差干涉（PSI）,、白光干涉（VSI）和高分辨率的薄膜厚度測量的功能集于一體,。這種基于設(shè)計的Microdisplay技術(shù)，簡明易學(xué)的軟件接口使您只需要選對鏡頭,，正確對焦并選好測量方式就能快速準(zhǔn)確地獲得所需的信息,。