PLu neox是Sensofar 最為先進的光學(xué)輪廓儀?;谝幌盗谐晒Φ腜Lu 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品,,PLu neox 結(jié)合了共聚焦掃描、相位差干涉,、白光干涉與分光光度計,,能最為廣泛地應(yīng)用于3D 和薄膜測量技術(shù)。這一強大的功能結(jié)合能實現(xiàn)對技術(shù)表面以精細至小于0.1 納米的垂直分辨率進行2D 和3D 分析,,測量斜率超過70 度的光滑表面以及分辨率小于1 納米的薄膜測量,。
此外,Sensofar 還加入了其的掃描微顯示技術(shù),,能實現(xiàn)每秒多達12.5 張共聚焦圖像的快速共聚焦掃描,。改進的共聚焦和干涉算法能實現(xiàn)高達800 微米/秒的垂直掃描速度,以及5 秒之內(nèi)的典型測量時間(包含計算時間),。PLu neox包含了兩種垂直掃描儀:能實現(xiàn)精至0.01 納米高分辨率3D 測量的Piezo 支架掃描儀,,和能實現(xiàn)超過40 毫米測量范圍的大型垂直掃描儀,。PLu neox擁有自動化的XY 軸掃描平臺,能處理大至500 mm2 的樣本,。另可選擇超過50 種放大倍率從2.5x 到200x 的尼康物鏡,,應(yīng)用范圍。
工具操作和程序創(chuàng)建通過SensoSCAN 軟件執(zhí)行,。SensoSCAN軟件包含一套完整的2D 和3D 數(shù)據(jù)分析和查看工具,。基于Digital Surf 的Mountains 軟件技術(shù),,SensoMAP 用于高級鑒定和數(shù)據(jù)報告,,能提供直觀先進的分析軟件,擁有各種視圖,、表面控制器和國際統(tǒng)一表面標準,。
Sensofar 團隊在PLu neox中集成了先進的光學(xué)和技術(shù),創(chuàng)建了強大的3D 輪廓儀和薄膜分析工具,,能夠應(yīng)對各種各樣的表面測量應(yīng)用,。
Sensofar 在接下來的數(shù)月內(nèi)將在各大展覽中展示PLu neox。
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