掃描電鏡是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體工藝等領(lǐng)域的*備工具,，它可以通過探測(cè)樣品表面激發(fā)出來的電子信號(hào)，對(duì)物質(zhì)微觀形貌進(jìn)行表征,。在半導(dǎo)體工藝中,，掃描電子顯微鏡被廣泛應(yīng)用于器件結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)檢測(cè)和剖面分析方面，為生產(chǎn)和研發(fā)提供了其他測(cè)試分析儀器所無法提供的直接測(cè)量信息,。
本期內(nèi)容,，就讓我們一起來欣賞ZEM18鏡頭下的半導(dǎo)體世界~
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