將結(jié)構(gòu)光以一定角度投射到樣本上,,用相機(jī)接收反射光,。投射到某個(gè)表面上時(shí),,投射光型改變,,因此,通過(guò)確定條紋圖形與高度變化之間的相互關(guān)系,,我們就可獲得 3D 圖像,。
光學(xué)方案
為了在現(xiàn)場(chǎng)樣本上獲得均勻、聚焦且等距的條紋投影,,Scheimpflug 配置與雙遠(yuǎn)心鏡頭一起使用,。不管物體在視場(chǎng)中的距離或位置如何,均有恒定的放大倍率,,是測(cè)量用途的理想之選,。
正確 單拍采集
垂直精度高的大區(qū)域 而且 可重復(fù)性高 (σ = 0.01 µm),系統(tǒng)噪聲 低至 0.5 µm
實(shí)像顏色
沒(méi)有Z 向掃描
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