光學(xué)輪廓儀是一種基于光學(xué)干涉原理的精密測量儀器,。其測量原理主要基于白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法等,，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,。具體過程如下：
光源與分光：光學(xué)輪廓儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后，經(jīng)過分光棱鏡分成兩束光,。
反射與干涉：一束光經(jīng)被測表面反射回來,，另一束光經(jīng)參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,。
形貌轉(zhuǎn)化為干涉條紋：顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,。
數(shù)據(jù)處理：通過系統(tǒng)軟件對干涉條紋信號進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。
優(yōu)勢：
光學(xué)輪廓儀相較于其他測量工具,，具有顯著的優(yōu)勢,，主要包括以下幾點：
高精度：能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級別的形狀和表面粗糙度測量，測量精度高于是其他測量方法的,。干涉條紋每移動一個條紋間距,，光程差就改變一個波長(～10^-7米)，因此其測量精度高,。
非接觸式：采用非接觸式測量方法,，不會對被測物體造成損傷或變形,，特別適用于各種材料、形狀和尺寸的物體測量,。
大面積快速測量：測量范圍為毫米級,，XY樣品臺可達(dá)100mm*100mm，能夠輕松測量大面積樣品,。
可視化3D功能：配備強大的處理軟件，可以進行表面粗糙度,、形狀,、臺階高度的測量，并支持任意角度移動樣品進行3D圖形測量,，多角度分析樣品圖像,。
高效性：可實現(xiàn)快速高效的測量，并能夠完成大批量樣品的自動化測量,。
使用便捷：只需將樣品放在樣品臺上,，即可直接測量，無需更換耗材,，只需一個LED光源,。
綜上所述，光學(xué)輪廓儀測量原理和顯著的優(yōu)勢,，在制造業(yè),、醫(yī)療設(shè)備、半導(dǎo)體和生命科學(xué)等多個領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,，為產(chǎn)品質(zhì)量控制,、科學(xué)研究和生產(chǎn)過程監(jiān)測提供了強有力的支持。
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