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產(chǎn)品分類 品牌分類

產(chǎn)品簡介

Park XE15大樣品臺工業(yè)原子力顯微鏡具有眾多的*功能，是處理多種樣品的共享實(shí)驗(yàn)室、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)的研究院以及晶片故障分析工程師的理想選擇,。

詳細(xì)介紹

Park XE15大樣品臺工業(yè)原子力顯微鏡概述：

Unique MultiSample™ scan boosts research productivity

Park XE15能夠一次性掃描和測量多個(gè)樣品，讓您的效率一高再高,。您只需要將樣品放入工作臺，再啟動掃描程序便可,。該功能也可以讓您在相同的環(huán)境條件下掃描樣品,，從而提高數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

Large sample size increases possibilities

與大多數(shù)的原子力顯微鏡不同，Park XE15可掃描大尺寸為200 mm x 200 mm的樣品,。這樣既滿足了研究員對掃描大樣品的需求,，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。

Features adaptable to any need

Park XE15配有絕大多數(shù)的掃描模式,，可掃描各種尺寸的樣品,。得益于此，Park XE15是共用實(shí)驗(yàn)室的配置,，能夠滿足每個(gè)人的需求,。

Park XE15大樣品臺工業(yè)原子力顯微鏡技術(shù)信息：

使用MultiSample™掃描進(jìn)行方便的樣品測量

Park XE15 MultiSample™ scan system

一次性自動多樣品成像
特別設(shè)計(jì)的多樣品卡盤，可裝載多達(dá)16個(gè)樣品
全機(jī)動XY軸樣品臺,，行程范圍達(dá)150 mm x 150 mm

借助電動樣品臺,，MultiSample™掃描模式能夠允許用戶自行編程，借助自動化步進(jìn)掃描,，實(shí)現(xiàn)多區(qū)域成像,。

流程如下：
1.記錄用戶定義的多個(gè)掃描位置
2.在d一個(gè)掃描位置成像
3.提升懸臂
4.將電動樣品臺移至下一個(gè)用戶定義坐標(biāo)
5.探針接近
6.重復(fù)掃描

記錄多個(gè)掃描位置十分簡單，您可以輸入樣品-樣品臺坐標(biāo)或使用兩個(gè)參考點(diǎn)校正樣品位置,。該自動化功能大大減少您在掃描過程中需要的工作,，大大提高了生產(chǎn)力。

通過消除串?dāng)_進(jìn)行準(zhǔn)確的XY掃描

Park Systems的*串?dāng)_消除(XE)掃描系統(tǒng)能夠有效解決上述問題,。我們使用了二維柔性平臺專門掃描樣品的XY軸位置,，并通過壓電疊堆傳動裝置專門掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺采用了固體鋁材,，其具有超高的正交性和出色的平面外運(yùn)動軌跡,。柔性平臺可在XY軸掃描大型樣品（1 kg左右），頻率z高達(dá)100 Hz左右,。由于XY軸的帶寬要求遠(yuǎn)低于Z軸的帶寬要求,，因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz）,。

二維柔性平板掃描儀,，掃描范圍為10 µm x 10 µm

XY軸掃描器含有對稱的二維柔性和高強(qiáng)度壓電疊堆，可在保持平面外運(yùn)動少的情況下,，實(shí)現(xiàn)高正交運(yùn)動以及納米級樣品掃描下的高響應(yīng)度,。緊湊且堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)是為了低噪聲高速伺服回應(yīng)而設(shè)計(jì)的。

柔性High Force Z掃描儀

憑借著高強(qiáng)度壓電疊堆和柔性結(jié)構(gòu),，其可以允許掃描器以更高的速度縱向移動,，這是傳統(tǒng)原子力顯微鏡中掃描器所無法做到的。大Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的12 µm增至40µm（選購遠(yuǎn)距離Z軸掃描器）,。

滑動鏈接SLD

燕尾式軌道設(shè)計(jì),，輕松更換原子力顯微鏡鏡頭,。借助超輻射發(fā)光二極管(SLD)的低相干性，顯微鏡可成像高度反光表面和精密測量pico-Newton力對距光譜,。此外,，超輻射發(fā)光二極管的波長也解決了干擾問題，讓用戶可隨意在可見光譜實(shí)驗(yàn)中使用原子力顯微鏡,。

多樣本卡盤

特別設(shè)計(jì)的多樣品卡盤,，可裝載多達(dá)16個(gè)樣品，可由MultiSample自動掃描模式按序掃描,。借助*的鏡頭設(shè)計(jì),，用戶可從側(cè)面輕易操作樣品和探針。

無障礙樣品架

*的鏡頭設(shè)計(jì)可掃描尺寸高為100 mm的樣品,，且可輕易從側(cè)面更換樣品和探針,。

手動XY樣品臺

在手動XY軸樣品臺的控制下，樣品的測量定位變得簡單,。XY軸樣品臺的行程范圍是13 mm x 13 mm,。

手動光學(xué)平臺

同軸鏡頭可手動調(diào)焦。

帶有控制器板中的DSP板的Park XE控制電子設(shè)備
原子力顯微鏡的納米級信號是由高性能的Park XE電子控制器所控制和處理的,。憑借著低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元,，Park XE電子控制器成功實(shí)現(xiàn)了True Non-Contact™模式，這是納米級成像和準(zhǔn)確電壓電流測量的理想選擇,。
- 高性能處理單元,，頻率達(dá)600 MHz，處理速度高達(dá)4800 MIPS
- 低噪聲設(shè)計(jì),，帶來準(zhǔn)確的電流電壓測量
- *系統(tǒng),，融合各種掃描探針顯微鏡技術(shù)
- 外部信號獲取模塊，獲取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
- 大16幅數(shù)字圖像
- 大分辨率：4096 × 4096
- 16位ADC/DAC,，頻率為500 kHz
- 隔離通過TCP/IP連接的電腦電噪聲

掃描模式

可擴(kuò)展的AFM解決方案

支持Park行業(yè)中廣泛的SPM模式和選項(xiàng)

現(xiàn)如今,，研究院需要描述不同測量條件和樣品條件下的各類物理性質(zhì)。Park Systems帶來業(yè)內(nèi)多的掃描探針顯微鏡模式,、多的原子力顯微鏡選擇和兼容性和升級性,，讓樣品*的表征掃描變得簡單。