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納米加工的加工技術一文帶你了解
閱讀：1994 發(fā)布時間：2021-9-24
納米加工是指構建尺度在納米范圍內的微結構,，在納米尺度下操控物質的組裝從而構成具有一定功能的微器件。它是傳統微加工技術的發(fā)展,，是納米技術的核心之一,，它的發(fā)展會給人們的未來生活帶來不可估量的影響.
按加工方式，納米級加工可分為切削加工,、磨料加工（分固結磨料和游離磨料）,、特種加工和復合加工四類（表4-2）。納米級加工還可分為傳統加工,、非傳統加工和復合加工,。傳統加工是指刀具切削加工、固有磨料和游離磨料加工,；非傳統加工是指利用各種能量對材料進行加工和處理,；復合加工是采用多種加工方法的復合作用,。納米級加工技術也可以分為機械加工、化學腐蝕,、能量束加工,、復合加工、隧道掃描顯微技術加工等多種方法,。機械加工方法有單晶金剛石刀具的超切削,，金剛石砂輪和CBN砂輪的超磨削和鏡面磨削、磨,、砂帶拋光等固定磨料工具的加工,，研磨、拋光等自由磨料的加工等,，能束加工可以對被加工對象進行去除,，添加和表面改性等工藝，例如,，用激光進行切割,、鉆孔和表面硬化改性處理。用電子束進行光刻,、焊接,、微米級和納米級鉆孔、切削加工,，離子和等離子體刻蝕等,。屬于能量束的加工方法還包括電火花加工、電化學加工,、電解射流加工,、分子束外延等。STM加工可以進行原子級操作和原子去除,、增添和搬遷等,。