進(jìn)行電鏡下原子力測(cè)試,,技巧都有哪些,?
閱讀:772 發(fā)布時(shí)間:2021-5-24
電鏡下原子力能提供各種類型樣品的表面狀態(tài)信息。與常規(guī)顯微鏡比較,,原子力顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)是在大氣條件下,,以高倍率觀察樣品表面,可用于幾乎所有樣品(對(duì)表面光潔度有一定要求),,而不需要進(jìn)行其他制樣處理,,就可以得到樣品表面的三維形貌圖象。并可對(duì)掃描所得的三維形貌圖象進(jìn)行粗糙度計(jì)算,、厚度,、步寬、方框圖或顆粒度分析,。
測(cè)試技巧
樣品的預(yù)處理:在電鏡下原子力下看樣品表面是否干凈,,平整,如果有污染或不平整,,務(wù)必重新制樣,。雖然針尖能測(cè)試的有效高度為6微米,水平范圍100微米,。但事實(shí)上,,水平和高度方面任接近何一個(gè)極限,所測(cè)得的圖象效果將很差,,且針尖很容易破壞和磨損,。
下針:在選好模式下針前,務(wù)必找到樣品表面,,調(diào)好焦距,。掃描范圍先設(shè)置為0,當(dāng)針尖接觸到樣品表面后,,再擴(kuò)大掃描范圍,,保護(hù)下針時(shí)破壞針尖。
掃圖:為了得到好的圖象,,須調(diào)好trace和retrace,,一般來(lái)說(shuō)調(diào)電壓效果會(huì)好一些,。探針在多次使用后或樣品表面比較粗糙,掃描范圍太小時(shí),,trace和retrace重合會(huì)比較困難,,可以增大掃描范圍或?qū)悠泛娓珊笤贉y(cè)。測(cè)試時(shí)應(yīng)保持安靜,,空調(diào)等低頻噪音也會(huì)影響測(cè)試,;如果環(huán)境太吵,可以降低圖象分辨率,,減小外界的影響,,或降低掃描頻率。
Integralgain和Proportionalgain:電鏡下原子力反饋系統(tǒng)的兩個(gè)增益值主要用來(lái)設(shè)定探針的反饋能力,。適當(dāng)提高Igain和Pgain的值以提高系統(tǒng)的響應(yīng)性,,但是這兩個(gè)參數(shù)不宜過(guò)高,否則會(huì)使掃描器振蕩,,致使圖像出現(xiàn)失真,。