1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備,。
2.設備主要由真空室,、濺射靶槍,、濺射電源,、加熱樣品臺,、流量控制系統(tǒng),、真空獲得系統(tǒng),、真空測量系統(tǒng),、氣路系統(tǒng),、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成。
3.該設備主機與控制一體化設計,，操控方便,；結構緊湊，占地面積小,。
多功能鍍膜設備為立式雙開門結構,，是一款集直流磁控濺射鍍膜技術、電阻蒸發(fā)鍍膜技術,、CVD鍍膜技術及中頻離子清洗系統(tǒng)相結合的復合型設備,，適應客戶復雜的產(chǎn)品工藝切換；真空室內(nèi)可一次性完成金屬膜及保護膜制程,，防止二次工序污染,。
多功能鍍膜設備結構緊湊，占地面積??；雙開門結構,，無待機時間，生產(chǎn)效率高,；膜層均勻性好,，光潔度高。設備可適用于車燈,、車標,、車內(nèi)飾件等不同產(chǎn)品，可鍍制金屬膜層,，如Ti,、Cu、Al,、Cr,、Ni、SUS,、Sn,、In等材料。
1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備,。
2.設備主要由真空室,、濺射靶槍、濺射電源,、加熱樣品臺,、流量控制系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng),、真空測量系統(tǒng),、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成,。
3.該設備主機與控制一體化設計,，操控方便；結構緊湊,，占地面積小,。
4.主要用途：
1. 開發(fā)納米級單層、多層及復合膜層等,。
2. 制備金屬膜,、合金膜、半導體膜,、陶瓷膜及介質(zhì)膜等,，例：銀、鋁,、 銅,、鎳,、鉻、鎳鉻合金,、氧化鈦,、氮化鈦、氮化鉻,、ITO......
3. 兩靶單獨濺射,、依次濺射、共同濺射,。
5.應用領域：
1. 高校,、科研院所的教學、科研實驗及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產(chǎn)品等,。
2. 鈣鈦礦太陽能電池,、OLED、OPV 太陽能電池等行業(yè),。
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