1.MS450是一臺(tái)高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備。
2.設(shè)備主要由真空室,、濺射靶槍、濺射電源,、加熱樣品臺(tái),、流量控制系統(tǒng),、真空獲得系統(tǒng),、真空測(cè)量系統(tǒng),、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成,。
3.該設(shè)備主機(jī)與控制一體化設(shè)計(jì),，操控方便；結(jié)構(gòu)緊湊,，占地面積小,。
1.MS450是一臺(tái)高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備。
2.設(shè)備主要由真空室,、濺射靶槍,、濺射電源、加熱樣品臺(tái),、流量控制系統(tǒng),、真空獲得系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng),、氣路系統(tǒng),、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成,。
3.該設(shè)備主機(jī)與控制一體化設(shè)計(jì),，操控方便；結(jié)構(gòu)緊湊,，占地面積小,。
4.主要用途：
1. 開發(fā)納米級(jí)單層、多層及復(fù)合膜層等,。
2. 制備金屬膜,、合金膜、半導(dǎo)體膜,、陶瓷膜及介質(zhì)膜等,，例：銀、鋁、 銅,、鎳,、鉻、鎳鉻合金,、氧化鈦,、氮化鈦、氮化鉻,、ITO......
3. 兩靶單獨(dú)濺射,、依次濺射、共同濺射,。
5.應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 高校,、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開發(fā)新產(chǎn)品等,。
2. 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池,、OLED、OPV 太陽(yáng)能電池等行業(yè),。
會(huì)員.png)
5
化工儀器網(wǎng)