鍍膜設(shè)備主要功能
鍍膜設(shè)備是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的科學(xué)儀器，能夠在微顆粒表面沉積各種金屬薄膜(包括磁性金屬膜),、金屬氧化物薄膜,、金屬氮化物薄膜及合金薄膜，且所鍍薄膜致密,、均勻,、純度高、附著力強(qiáng)等,。
1.MS450是一臺(tái)高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,。
2.設(shè)備主要由真空室、濺射靶槍,、濺射電源,、加熱樣品臺(tái)、流量控制系統(tǒng),、真空獲得系統(tǒng),、真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng),、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成,。
3.該設(shè)備主機(jī)與控制一體化設(shè)計(jì),，操控方便；結(jié)構(gòu)緊湊,，占地面積小,。
4.主要用途：
1. 開發(fā)納米級(jí)單層、多層及復(fù)合膜層等,。
2. 制備金屬膜,、合金膜、半導(dǎo)體膜,、陶瓷膜及介質(zhì)膜等,，例：銀、鋁,、 銅,、鎳、鉻,、鎳鉻合金、氧化鈦,、氮化鈦,、氮化鉻、ITO......
3. 兩靶單獨(dú)濺射,、依次濺射,、共同濺射。
5.應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 高校,、科研院所的教學(xué),、科研實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開發(fā)新產(chǎn)品等。
2. 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池,、OLED,、OPV 太陽(yáng)能電池等行業(yè)。
操作程序
真空鍍膜設(shè)備操作程序具體操作時(shí)請(qǐng)參照該設(shè)備說明書
和設(shè)備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標(biāo)注說明,。
?、贆z查真空鍍膜機(jī)各操作控制開關(guān)是否在"關(guān)"位置。
?、诖蜷_總電源開關(guān),，設(shè)備送電。
?、鄣蛪洪y拉出,。開充氣閥，聽不到氣流聲后,，啟動(dòng)升鐘罩閥,，鐘罩升起,。
④安裝固定鎢螺旋加熱子,。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤上,。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位,，保證無任何雜質(zhì)污物,。
⑤落下鐘罩,。
?、迒?dòng)抽真空機(jī)械泵。
?、唛_復(fù)合真空計(jì)電源(復(fù)合真空計(jì)型號(hào)：Fzh-1A),。
a.左旋鈕“1”順時(shí)針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置。
b.低真空表“2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng),，當(dāng)指針移動(dòng)至110mA時(shí),，左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。
?、喈?dāng)?shù)驼婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針再次順時(shí)針移動(dòng)至6.7Pa時(shí),，低壓閥推入。這時(shí)左旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置,。
?、嵴婵斟兡C(jī)開通冷卻水，啟動(dòng)擴(kuò)散泵,，加熱40min,。
⑩低壓閥拉出,。重復(fù)一次⑦動(dòng)作程序：左下旋鈕“1”轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置,。低真空表“2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)，當(dāng)指針移動(dòng)至6.7Pa時(shí),，開高壓閥(閥桿順時(shí)針旋轉(zhuǎn)),。
?等低真空表“2”內(nèi)指針右移動(dòng)至0.1Pa時(shí)，開規(guī)管燈絲開關(guān),。
a.發(fā)射,、零點(diǎn)測(cè)量鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向發(fā)射位置。
b.左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置,。
?旋轉(zhuǎn)發(fā)射調(diào)節(jié)鈕“4”,，使高壓真空表“5”內(nèi)指針指向5。
?發(fā)射,、零點(diǎn),、測(cè)量旋鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向零點(diǎn)位置,。
?旋轉(zhuǎn)零點(diǎn)調(diào)節(jié)鈕“10”，讓高壓真空表“5”內(nèi)指針指向0位置,。
?發(fā)射,、零點(diǎn)、測(cè)量旋鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向測(cè)量位置,。
?旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)調(diào)節(jié)鈕“3”,，讓高壓真空表“5”內(nèi)指針指向10。
?旋轉(zhuǎn)“倍加器”開關(guān)鈕“8”至指向10-12,，當(dāng)高壓真空表“5”內(nèi)指針逆時(shí)針左移超過1時(shí),，再把“倍加器”開關(guān)旋鈕“8”旋轉(zhuǎn)至指向10-3。
?當(dāng)高壓真空表“5”內(nèi)指針逆時(shí)針移動(dòng)超過6.7Pa時(shí),，開工件旋轉(zhuǎn)鈕開關(guān),，鐘罩內(nèi)被鍍件PVDF膜轉(zhuǎn)動(dòng)。
?開蒸發(fā)鈕開關(guān),。把電流分插塞插入蒸發(fā)電極分配孔內(nèi)(設(shè)有1,、2、3,、4孔,，可插入任意一孔)。
?右手旋轉(zhuǎn)右側(cè)調(diào)壓器手輪,，慢慢旋轉(zhuǎn)升壓。
a.從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況,。
b.當(dāng)鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色,，鋁絲開始熔化時(shí)，左手操作擋板鈕,，移開鎢螺旋上方擋板,。
c.鋁絲全部熔化蒸發(fā)，擋板回原位,。
d.右手旋轉(zhuǎn)調(diào)壓器手輪回零位,。第一次蒸鍍工作完成。
21.如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度)：把電流分插塞撥出插入另一個(gè)電極分配孔,。重復(fù)?操作動(dòng)作,。
22.關(guān)閉規(guī)管燈絲開關(guān)。關(guān)閉高壓閥(逆時(shí)針轉(zhuǎn)手柄),。關(guān)閉工件旋轉(zhuǎn),。關(guān)閉蒸發(fā)。旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵鈕至指向擴(kuò)散泵位置,。
23.低壓閥拉出,。鐘罩充氣,。充氣一段時(shí)間，當(dāng)沒有氣.聲時(shí),，升鐘罩,。
24.鎢螺旋加熱子內(nèi)加鋁絲。PVDF薄膜調(diào)換另一面向下(原下面已鍍一層鋁膜面向上),。緊固在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤上,。
25.落鐘罩。開機(jī)械泵,。
a.左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置,。
b.當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到6.7Pa時(shí)，低壓閥推入,。
c.左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置,。
d.當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到6.7Pa時(shí)，開高壓閥,。旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置,。
e.當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到指向0.1Pa時(shí)，開規(guī)管燈絲,。
f.由?開始重復(fù)操作至?,。
26.PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后，按順序關(guān)閉規(guī)管燈絲,、高壓閥,、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵,。把低壓閥拉出,。鐘罩充氣，充氣完畢后升鐘罩,。取出工件,，做好鐘罩內(nèi)清理工作。
a.落下鐘罩,。
b.開機(jī)械泵,，抽3~5min，停機(jī)械泵,。
c.切斷供電總開關(guān),。
d.1h后再關(guān)閉冷卻水。操作全部完成,。
27.正常生產(chǎn)中,，如遇到突然停電時(shí)，要立即切斷高真空測(cè)量,，關(guān)閉規(guī)管燈絲,，高壓閥,、低壓閥拉出。來電后,，先讓機(jī)械泵啟動(dòng)工作3~5min后,，再轉(zhuǎn)入正常生產(chǎn)。
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