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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片
  • Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

更新時間：2025-05-25 21:00:08

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( 聯(lián)系我們,，請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝?。?/p>

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,，也稱為光束分離器，旨在通過在 EUV 和 NIR 波長之間提供高分離效率,，用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用,。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計，支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率,。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍,。

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

  • 將 EUV 與 NIR 激光源分開

  • 透射型熔融石英設(shè)計最大限度地延長組件使用壽命

  • 支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應(yīng)用

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,，也稱為光束分離器,，旨在通過在 EUV 和 NIR 波長之間提供高分離效率，用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用,。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計,，支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍,。 除了產(chǎn)生高次諧波外,，這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng)，例如 EUV 光刻,、EUV 納米加工和等離子體實驗,。

通用規(guī)格


尺寸容差 (mm):+0.0/-0.2直徑 (mm):50.80
厚度 (mm):5.08 ±0.1鍍膜:Dielectric Multilayer AR
基底:Fused Silica表面質(zhì)量:20-10
平行度（弧分）:<5面形計算 (RMS):<λ/10 @ 633nm


產(chǎn)品型號


波長范圍 (nm)產(chǎn)品編碼
10 - 25#18-279
20 - 40#18-280



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