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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

• 將 EUV 與 NIR 激光源分開

• 透射型熔融石英設(shè)計(jì)最大限度地延長(zhǎng)組件使用壽命

• 支持 13.5nm,、20nm 和 30nm 應(yīng)用

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,，也稱為光束分離器，旨在通過(guò)在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率,，用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用,。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì)，支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率,。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍,。 除了產(chǎn)生高次諧波外，這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng),，例如 EUV 光刻,、EUV 納米加工和等離子體實(shí)驗(yàn)。

通用規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào)