Micro-Hybrid 

黑色硅紅外輻射源，TO39,，帶蓋

具有真正黑體輻射功率的紅外輻射器,，用于要求苛刻的氣體分析應(yīng)用

•真正的黑體輻射特性

•膜片經(jīng)過熱機(jī)械調(diào)整，使用壽命長

•無光譜漂移

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋

描述

具有黑色硅發(fā)射層基于MEMS的紅外發(fā)射器,，可用于長波范圍的NDIR氣體分析,，用于要求苛刻的醫(yī)療和工業(yè)應(yīng)用,。

通過在MEMS加熱板發(fā)射器芯片上實(shí)現(xiàn)高度發(fā)展的微納米結(jié)構(gòu)的硅金屬發(fā)射層，Micro-Hybrid可提供具有真實(shí)黑體輻射特性的紅外源,。強(qiáng)大的紅外發(fā)射器MEMS芯片由高達(dá)850°C的加熱板溫度與近1倍的光譜寬帶發(fā)射系數(shù)共同定義,。這樣可以在很寬的紅外波長范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)較高的輻射強(qiáng)度。除了高紅外輸出強(qiáng)度外,，我們成功開發(fā)的重點(diǎn)還在于長期穩(wěn)定性,。

JSIR 360光源可用于帶蓋或反射器的各種TO外殼和SMD外殼。密封的TO外殼中的各種回填氣體確保了更低的功率損耗,。例如電池供電的應(yīng)用,。我們的紅外發(fā)射器中使用的MEMS芯片由多層加熱板膜組成，該膜包含高溫穩(wěn)定的金屬加熱層以及的硅金屬微納米結(jié)構(gòu)表面,。最終的鈍化層保證了在高達(dá)850°C的熱板溫度下發(fā)射行為的長期穩(wěn)定性,。發(fā)射極芯片基于硅基板，背面蝕刻有膜,。所有薄膜工藝均使用兼容CMOS的材料進(jìn)行,。

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋

技術(shù)指標(biāo)