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MFC穩(wěn)定的流量控制技術(shù)：MFC對氣體流量進(jìn)行控制是基于流量計和比例閥在PID控制算法的作用下所實(shí)現(xiàn),。MFC所采用的PID算法一般具有動態(tài)調(diào)整功能，根據(jù)不同的工況進(jìn)行動態(tài)調(diào)整,，從而實(shí)現(xiàn)快速的流量切換（一般響應(yīng)時間＜1s）以及設(shè)定的流量的穩(wěn)定輸出,。下圖為10L MFC的最大流量點(diǎn)多穩(wěn)定性情況對比，以10SLM為例,，本產(chǎn)品波動±13sccm,， 三臺競品分別為±13sccm，±116sccm,， ±19.5sccm,。(數(shù)據(jù)由第三方MFM記錄，黃線為我司產(chǎn)品）

圖1.2  三款10L MFC在滿量程點(diǎn)的波動對比
  溫補(bǔ)補(bǔ)償技術(shù)研究：溫度補(bǔ)償（Temperature compensation),，大幅度溫度變化會對傳感器內(nèi)部電阻,、待測氣體密度、氣路結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵部件產(chǎn)生微弱影響,，最終會導(dǎo)致3%左右到讀數(shù)誤差（溫漂誤差）,，如下圖橙色線所示。在流量計和控制器設(shè)計中,，采用全量程溫度方法（不同流量,，不同溫度下逐一測試和溫補(bǔ)），進(jìn)行精確溫度補(bǔ)償,，用于保證滿量程范圍內(nèi)溫漂誤差控制在0.5%或1%以內(nèi),，如下圖藍(lán)線所示,。

圖1.3 MFC-E 10L流量下的溫度補(bǔ)償效果測試數(shù)據(jù)

熱式毛細(xì)管原理同類MFC產(chǎn)品是沒有溫度補(bǔ)償這一道生產(chǎn)工序，其在流道進(jìn)氣口需加多層過濾網(wǎng)進(jìn)行處理,，MEMS先進(jìn)氣體流量測控技術(shù)在生產(chǎn)中加入了溫度補(bǔ)償工序,，大大提高了產(chǎn)品穩(wěn)定性及精度準(zhǔn)確性。

流量計壓損研究：流量計壓損（Pressure loss）是流量計的關(guān)鍵指標(biāo)之一,，用于表中流量計輸入和輸出前后端的壓力差,，也是保證流量計正常工作的壓力差。流量計壓損一般隨流量的增大而增大,，同時受到解決方案的影響,，基于MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）的流量計壓損，遠(yuǎn)小于渦街流量計和差壓式流量計,。

圖1.4 流量計壓損測試數(shù)據(jù)

工作壓力對波動的影響研究：MFC使用過程中的兩端壓力變化雖然不會導(dǎo)致精度偏差（質(zhì)量流量不受影響）,，但會對氣路穩(wěn)定性產(chǎn)生影響。當(dāng)工作壓力變大的時候,，MFC的波動將會大幅度增加,，如下圖所示。當(dāng)壓力在0-0.3MPa時,，波動值小于0.2%,，絕大部分情況小于0.1%。當(dāng)壓力大于0.4MPa時,，波動可以達(dá)到0.6%以上,。因此，MFC前后端壓力差建議控制在0.3MPa以內(nèi),。

圖1.5 MFC-UT 100ml在不同工作壓力下的波動

采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級先進(jìn)流量傳感器芯片，結(jié)合低壓損氣路結(jié)構(gòu) 以及高精度數(shù)字控制電路和算法,，實(shí)現(xiàn)寬溫范圍內(nèi)的高精度,、高穩(wěn)定性、寬量程比控制,。該產(chǎn)品配 備現(xiàn)場調(diào)試屏及獨(dú)立供電接口,，適配半導(dǎo)體行業(yè)。

圖1.6 自主研發(fā)生產(chǎn)的MFC控制器產(chǎn)品