(1)精確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量,，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制,、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
(2)流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),。
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言,，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì),，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差;對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器,，則一般可以忽略不計(jì)。
(3)測(cè)量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示,、累積流量自動(dòng)計(jì)量,、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄、計(jì)算機(jī)管理等,。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言,，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0～+5V或4～20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制,。
(4)適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體，如HCL);有很寬的流量范圍,，我們的產(chǎn)品*小流量范圍可達(dá)0～5 sccm,，*大流量范圍可達(dá)0～200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2～100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。
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