目錄:青島天仁微納科技有限責(zé)任公司>>納米壓印配套設(shè)備>> 150mm&300mm 全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備
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更新時(shí)間:2025-05-27 15:24:05瀏覽次數(shù):921評(píng)價(jià)
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全自動(dòng)納米壓印光刻基底預(yù)處理,;
Cassette to cassette機(jī)械手自動(dòng)上下片,,包含基底清洗、勻膠,、烘烤和冷卻功能,;
毛刷清洗、二流體清洗,、兆聲波清洗,;
旋涂勻膠,,包含自動(dòng)供膠系統(tǒng)、EBR,、BSR等功能,;
熱板烘烤、冷板冷卻功能,;
可選配Plasma表面處理功能,。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)