位移探針臺的用途
閱讀:401 發(fā)布時間:2023-7-28
探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一,,其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜,、 高速器件的精密電氣測量,,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。位移探針臺可以在測試準(zhǔn)備和測試過程中準(zhǔn)確移動探針位置,,實(shí)現(xiàn)微米級別的電極接觸;同時探針前端可調(diào)整角度和長度,,從而適應(yīng)樣品范圍更加廣泛,。
位移探針臺用途:
1.用于光刻器件的高低溫光電測試;
2.用于IV,、介電常數(shù),、霍爾效應(yīng)、射頻,、低溫電路等測試,;
3.可拓展低溫溫控和真空管路模塊,實(shí)現(xiàn)液氮溫度測量,。
探針臺可以固定晶圓或芯片,,并準(zhǔn)確定位待測物。探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,,并使用顯微鏡將探針*端放置到待測物上的正確位置,。一旦所有探針*端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試,??梢詫㈦娞结槨⒐鈱W(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件,。