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產品簡介
詳細介紹
國產激光干涉儀SJ6000集光,、機,、電、計算機等技術于一體,，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時,；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,，可實現(xiàn)高精度、抗*力強,、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用干涉信號采集、調理及細分技術,，可實現(xiàn)4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術，支持中文,、英文和俄文語言,，友好的人機界面、向導式的操作流程,、簡潔化的記錄管理,。
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大,、測量速度快,、測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組,，可實現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析,、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等,。
其中,，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構成,。可滿足線性位移設備的定位精度,、重復定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償,。
國產激光干涉儀SJ6000工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡,，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器,，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉,。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號,。
若光程差有變化時,，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化,。