目錄:上海譜櫟氣體科技有限公司>>高純氣體>> 氨氣
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁 |
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氨氣 (NH3)
項目名稱 | 純度指標(%) | |
氨氣 | ≥99.8 | |
雜質(zhì)含量(ppm)
| 氮氣(N2) | ≤0.01 |
氧氣(O2) | ≤0.01 | |
碳氫化合物(THC) | ≤0.02 | |
水(H2O) | ≤0.06 | |
一氧化碳(CO)) | 0.01 | |
二氧化碳(CO2) | ≤0.05 | |
甲烷(CH4) | - |
包裝:采用450L,、200L鋼瓶充裝,。
用途:用于晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜
理化性質(zhì): 通常為無色有強烈刺激性氣味,,常溫下加壓可液化,,臨界溫度132.9℃,臨界壓力11.38MPa,,常壓下冷卻到-33.35℃時液化。液氨揮發(fā)性很強,,氣化時吸熱很大,,在-77.75℃時凝固成無色結(jié)晶。氨極易溶于水,,并放出熱量,。氨的水溶液稱為氨水,呈弱堿性,,易揮發(fā),。自燃點630℃,在空氣中遇火能爆炸,。
常溫,、常壓下在空氣中的爆炸極限為16%~28%(體積)。
注意事項:
1,、工作時應(yīng)選用耐腐蝕的工作服,、防堿手套、眼鏡,、膠鞋,、用硫酸銅或硫酸鋅防毒口罩,防毒口罩應(yīng)定期檢查,,以防失效,。
2、在使用氨水作業(yè)時,,應(yīng)在作業(yè)者身旁放一盆清水,,以防萬一;在氨水運輸過程中,應(yīng)隨身攜帶2~3只盛滿3%硼酸液的水壺,,以備急救沖洗,;配制一定濃度氨水時,應(yīng)戴上風(fēng)鏡,;使用氨水時,,作業(yè)者應(yīng)在上風(fēng)處,防止它刺激面部,;操作時要嚴禁用手揉擦眼睛,,操作后洗凈雙手。
3,、配備良好的通風(fēng)排氣設(shè)施,、合適的防爆、滅火裝置,。
4,、工作場所禁止飲食、吸煙,、禁止明火,、火花。
5,、應(yīng)急救援時,,必須佩帶空氣呼吸器。
6,、發(fā)生泄漏時,,將泄漏鋼瓶的滲口朝上,防止液態(tài)氨溢出,。
7,、加強生產(chǎn)過程的密閉化和自動化,防止跑,、冒,、滴、漏,。
8,、使用、運輸和貯存時應(yīng)注意安全,,防止容器破裂和冒氣,。
9、現(xiàn)場安裝監(jiān)測儀及時報警發(fā)現(xiàn),。