特種氣體主要有電子氣體,、高純氣體和標準氣體三種,，廣泛應用于電子半導體、化工,、醫(yī)療、環(huán)保裝備制造等L域,。到目前為止,，特種氣體中單元純氣體共有260種。下面為您做詳細介紹：
1,、氮氣-N2,純度要求>99.999%,用作標準氣,、在線儀表標準氣、校正氣,、零點氣,、平衡氣；用于半導體器件制備工藝中外延,、擴散,、化學氣相淀積、離子注入,、等離子干刻,、光刻、退火,、搭接,、燒結等工序；電器、食品包裝,、化學等工業(yè)也要用氮氣,。
2、氧氣-O2,>99.995%,用作標準氣在線儀表標準氣,、校正氣,、零點氣；還可用于醫(yī)療氣,；在半導體器件制備工藝中用于熱氧化,、擴散、化學氣相淀積,、等離子干刻等工序,；以及用于光導纖維的制備。
3,、氬氣-Ar,>99.999,用作標準氣,、零點氣、平衡氣,；用于半導體器件制備工藝中晶體生長,、熱氧化、外延,、擴散,、氮化、噴射,、等離子干刻,、載流、退火,、搭接,、燒結等工序；特種混合氣與工業(yè)混合氣也使用氫,。
4,、氫氣-H2,>99.999%,用作標準氣、零點氣,、平衡氣,、校正氣、在線儀表標準氣,；在半導體器件制備工藝中用于晶休生長,、熱氧化、外延,、擴散,、多晶硅,、鎢化、離子注入,、載流,、燒結等工序；在化學,、冶金等工業(yè)中也有用,。
5、氦氣-He,>99.999%,用作標準氣,、零點氣,、平衡氣、校正氣,、醫(yī)療氣,；于半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻,、載流等工序,；另外,特種混合氣與工業(yè)混合氣也常用。
6,、氯氣-Cl2,>99.96%,用作標準氣,、校正氣；用于半導體器件制備工藝中晶體生長,、等離子干刻,、熱氧化等工序；另外,用于水凈化,、紙漿與紡織品的漂白,、下業(yè)廢品、污水,、游泳池的衛(wèi)生處理；制備許多化學產品,。
7,、氟氣-F2,>98%,用于半導體器件制備工藝中等離子干刻；另外,用于制備六氟化鈾,、六氟化硫,、三氟化硼和金屬氟化物等。
8,、氨氣-NH3,>99.995%,用作標準氣,、校正氣、在線儀表標準氣,；用于半導體器件制備工藝中氮化工序,；另外,用于制冷,、化肥、石油,、采礦,、橡膠等工業(yè)。
9,、氯化氫-HCI,>99.995%,用作標準氣,；用于半導體器件制備工藝中外延、熱氧化,、擴散等工序,；另外,用于橡膠氯氫化反應中的化學中間體、生產乙烯基和烷基氯化物時起氧氯化作用,。
10,、一氧化氮-NO,>99%,用作標準氣、校正氣,；用于半導體器件制備工藝中化學氣相淀積主序,；制備監(jiān)控大氣污染的標準混合氣。
11,、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作標準氣,、在線儀表標推氣、校正氣,；于半導體器件制備工藝中氧化,、載流工序警另外,還用于特種混合氣、發(fā)電,、氣體置換處理,、殺菌氣體稀釋劑、滅火劑,、食品冷凍,、金屬冷處理、飲料充氣,、煙霧噴射劑,、食品貯存保護氣等。
12,、氧化亞氮-N2O,(即笑氣),>99.999%,用作標準氣,、醫(yī)療氣；用于半導體器件制備工藝中化學氣相淀積,、醫(yī)月麻醉劑,、煙霧噴射劑、真空和帶壓檢漏,；紅外光譜分析儀等也用,。
13,、硫化氫-H2S,>99.999%,用作標準氣、校正氣,；用于半導體器件制備工藝中等離子干刻,化學工業(yè)中用于制備硫化物,如硫化鈉,硫化有機物,；用作溶劑；實驗室定量分析用,。
14,、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作標準氣；用于半導體器件制備工藝中外延丫,、化學氣相淀積等工序,；另外,用作溶劑、有機物的氯化劑,、香料的浸出劑,、纖維的脫脂劑、滅火劑,、分析試劑,、制備氯仿和藥物等。
15,、氰化氫-HCN,>99.9,用于半導體器件制備工藝中等離子干刻工序,；制備氫氰酸溶液,金屬氰化物、氰氯化物,；也用于制備丙烯睛和丙烯衍生物的合成中間體,。
特種氣體，氣體工業(yè)名詞,，是指那些在特定L域中應用的,，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣,。門類繁多,，通常可區(qū)分為電子氣體,，標準氣,，環(huán)保氣，醫(yī)用氣,，焊接氣,，殺菌氣等,，廣泛用于電子,，電力，石油化工,，采礦,，鋼鐵,，有色金屬冶煉，熱力工程,，生化,，環(huán)境監(jiān)測，醫(yī)學研究及診斷,，食品保鮮等L域,。特種氣體用途及應用行業(yè)介紹如下。
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